等离子体密度

作品数：169被引量：264H指数：7
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第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
《真空》2025年第1期86-88,共3页张以忱 
(接2024年第6期88页)电荷双层对来自阴极的电子起到加速和聚焦的作用,强化了这一区域的电离,实现了对等离子体的第一次压缩。被“第一电荷双层”聚成一束的电子流,通过中间电极孔进入阳极区域。该区域在中间电极和磁感应线圈的作用下形...
关键词：离子辅助沉积 非均匀磁场 等离子体密度 离子注入 电极孔 强磁场 电子流 电荷 
空心电极对容性耦合等离子体放电特性影响
《辽宁科技大学学报》2023年第5期393-400,共8页李鹏博 梁英爽 
国家自然科学基金资助项目(11805089);辽宁省教育厅项目(LJKMZ20220657)。
为了提高容性耦合等离子体源的等离子体密度,采用空心电极来代替传统平板电极进行放电。本文采用流体力学模型对容性耦合空心电极放电进行建模仿真,研究不同空心电极的孔隙结构、放电电压及极板间距下,空心电极对容性耦合等离子体放电特...
关键词：空心电极放电 容性耦合等离子体 等离子体密度 数值模拟 
俄聚变研究取得进展
《国外核新闻》2023年第3期10-10,共1页伍浩松 张焰 
【英国《国际核工程》网站2023年2月8日报道】俄罗斯科学院西伯利亚分院布德克尔核物理研究所近期成功将开放式螺旋磁阱装置(SMOLA)的等离子体密度提升50%,并将等离体子外流速度降至以前的1/10。许多国家正在开展受控热核聚变研究,且建...
关键词：俄罗斯科学院 等离子体密度 受控热核聚变 磁阱 等离子体约束 德克尔 核物理 国际核工程 
氩气放电等离子体特征参数的光谱测量方法被引量：2
《激光与光电子学进展》2022年第17期399-403,共5页熊明 
针对采用氩气放电方式产生等离子体的离子引出模拟研究需求,提出一种等离子体密度及电子温度等关键特征参数的光谱测量方法。根据氩等离子体状态建立反映其粒子间动力学反应过程的粒子布居平衡模型,并通过对比分析实验测得的发射光谱获...
关键词：光谱学 等离子体密度 电子温度 氩气放电 发射光谱 粒子布居平衡模型 
磁场对低气压下径向辉光放电参数影响的仿真分析
《电力系统装备》2022年第5期38-40,共3页高深 方俊康 蔡纪鹤 
江苏高校文化创意协同创新中心基金项目《光伏技术在景观设计中的应用研究》(XYN1914)。
建立了轴向磁场条件下直流径向辉光放电的一维模型。采用磁流体动力学方法对模型进行了仿真分析,得到了不同条件下电极间空间工作区的电子密度分布。数值结果表明,轴向磁场增加了电子的运动路径,提高了电子与中性原子的碰撞效率,使放电...
关键词：辉光放电 等离子体密度 径向电场 低气压 磁场 
不同磁场对低气压中孔阳极放电等离子体参数的影响
《电力系统装备》2022年第4期81-83,共3页高深 方俊康 蔡纪鹤 
江苏高校文化创意协同创新中心基金项目(XYN1914)。
利用自行设计的空心阴极放电装置,研究了磁场对辉光等离子体参数的影响,得到了不同磁场强度下空心阴极辉光放电的击穿电压与气压、伏安特性的关系,以及不同磁场条件下等离子体密度的空间分布。结果表明,在相同压力下,磁场能有效降低击...
关键词：辉光放电 等离子体密度 击穿电压 低气压 磁场 
螺旋波等离子体及其金属材料表面清洗综述
《现代盐化工》2021年第5期5-6,共2页汤栋 刘玉 
随着工业技术的发展,等离子体已被广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、等离子体材料表面改性技术、等离子束材料表面镀膜技术以及螺旋波等离子体推进器等领域,因此,等离子体对每个相关领域的进一步发展具有重大影响。介绍了螺旋波等...
关键词：螺旋波等离子体 金属材料表面清洗 等离子体密度 辉光放电等离子体 
基于孪生靶的磁控溅射系统薄膜厚度均匀性的研究被引量：4
《光学学报》2021年第7期214-220,共7页魏博洋 刘冬梅 付秀华 张静 汪洋 耿煜 
吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)。
磁控溅射系统中薄膜厚度的均匀性是关键指标之一。通过分析磁场强度、靶材与基板的距离和气体压强对Si_(3)N_(4)和SiO_(2)两种薄膜厚度均匀性的影响,借助Langmuir探针分析等离子体的密度,并采用二进制阶梯式充气方式调整纵向的均匀性。...
关键词：薄膜 厚度均匀性 磁控溅射 孪生靶 等离子体密度 二进制梯度充气方式 正弦半波 
同轴枪正、负脉冲放电等离子体特性的对比被引量：2
《物理学报》2020年第3期215-224,共10页余鑫 漆亮文 赵崇霄 任春生 
国家重点研发计划(批准号:2017YFE0301206)资助的课题~~
同轴枪脉冲放电产生的等离子体具有高速度、高密度的特点,在核聚变、空间推进、天体物理领域具有很高的应用价值.本文针对不同放电方式对等离子体特性的影响进行了理论实验研究,通过调换脉冲电源整流二极管的方向改变充电电流方向实现...
关键词：同轴枪 正、负脉冲 等离子体速度 等离子体密度 
螺旋波等离子体原型实验装置中天线的优化设计与功率沉积被引量：7
《物理学报》2019年第20期223-233,共11页平兰兰 张新军 杨桦 徐国盛 苌磊 吴东升 吕虹 郑长勇 彭金花 金海红 何超 甘桂华 
国家自然科学基金(批准号:61471002,61372094,11405271);安徽省教育厅自然科学研究项目(批准号:KJ2016JD11,KJ2018A0510);安徽省自然科学基金(批准号:1808085MF206)资助的课题~~
近年来,螺旋波等离子体源在核聚变条件下等离子体与材料的相互作用方面具有十分重要的研究意义.本文对高密度螺旋波等离子体原型实验装置(helicon physics prototype experiment, HPPX)中的螺旋波系统发射天线进行了优化设计,利用HELIC...
关键词：螺旋波等离子体 天线 静磁场强度 轴心等离子体密度 功率沉积 
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