等离子体源

作品数：252被引量：450H指数：10
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制取高浓度臭氧超净水方法及其设备
《电子工业专用设备》2018年第5期22-25,54,共5页白敏菂 何叶 杨波 
国家高技术研究发展计划(863)(2008AA06Z317);国家自然科基金资助项目(61371027;507778028;50578020;61671100)
采用超窄间隙介质阻挡电离放电方法将氧离解、电离、电离离解成低温氧等离子体,其中O^-和O_2(a^1Δg)等活性粒子在电场中反应生成高浓度臭氧O_3,臭氧浓度达到286 mg/L。臭氧产生设备输出高浓度臭氧输送给气液溶解混合装置,将高浓度臭氧...
关键词：清洗硅片表面 臭氧超净水 超窄间隙介质阻挡电离放电 等离子体源 气液溶解混合 
阳极自冷却高效等离子体束流源被引量：2
《高电压技术》2016年第3期739-744,共6页任琼英 李露 丁亮 黄佳华 唐振宇 赵华 
国家航天预研基金(9140A12060514HT05187);国家高技术研究发展计划(863计划)(2014AA7024030)~~
研制了一种阳极自冷却的高效层流等离子体炬。利用工质气体在阳极内部循环冷却阳极,提高气体温度;再让加热后的气体以更高的定向速度流入放电腔,得到稳定的等离子体射流。试验中等离子体炬的总功率约为785W,在大气压环境工作,阳极无水冷...
关键词：稳态电弧放电 层流等离子体源 阳极自冷却 高效等离子体炬 无水冷却模式 
等离子体方法实现金属管件内表面改性研究进展被引量：1
《自然科学进展》2006年第11期1371-1378,共8页张谷令 吴杏芳 顾伟超 陈光良 冯文然 牛二武 李立 吕国华 陈皖 范松华 刘赤子 杨思泽 
国家自然科学基金(批准号:50071068;10275088)国家"八六三"计划(批准号:2002A331020)美国ARO-FE基金(批准号:N62649-02-1-0010)北京市科委高新科技发展项目(批准号:H020420160130)资助项目
综述了近年来国内外利用等离子体方法实现金属管件内表面强化的研究进展．介绍了几种管件内表面等离子体源离子注入和沉积技术,并对其优缺点分别加以分析．详细介绍了中国科学院物理研究所等离子体物理实验室先后提出的几种等离子体源...
关键词：等离子体源 离子注入 金属管件 内表面 表面改性 
不锈钢等离子体源离子渗氮-多弧离子镀膜复合技术被引量：3
《材料热处理学报》2004年第4期57-59,共3页苟伟 李国卿 柳翠 王亮 
国家高技术研究发展计划 863资助项目(2 0 0 1AA3380 1 0 )
在较高真空度条件下 (10 - 1 Pa)对奥氏体不锈钢进行等离子体源离子渗氮 多弧离子镀膜复合表面改性 ,并采用X射线衍射、金相显微镜、电子探针等手段分析了薄膜的结构和成分 ,探讨了复合处理过程中的组织结构变化。结果表明 :380℃离子渗...
关键词：等离子体源 离子渗氮 多弧离子镀 不锈钢 
微波等离子体源分析与紧凑型氢等离子体枪设计
《国防科技大学学报》2000年第z1期73-76,共4页杨建华 张亚洲 刘金亮 
国家 8 6 3计划项目资助
介绍和分析了几种等离子体微波器件中等离子体源 。
关键词：等离子体微波器件 等离子体源 氢等离子体枪 
阴极真空弧沉积中MEVVA源两种工作状态的比较
《北京师范大学学报（自然科学版）》1999年第3期366-369,共4页王广甫 田人和 吴瑜光 张孝吉 张荟星 
国家"八六三"计划资助!863-715-008-0040;国家教育部射线束材料工程实验室资助
介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性．发现阳极接地时，因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用，聚焦磁场对孤源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显．因此可以加较高的聚焦磁场，从而获得电流...
关键词：真空弧沉积 阳极接地 等离子体源 阴极 MEVVA源 
等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究被引量：8
《核聚变与等离子体物理》1995年第4期8-13,共6页于炯 宫野 王德真 
国家自然科学基金;国家"863"高科技青年基金
本文使用流体动力学模型，研究了平板、柱形和球形靶的无碰撞及碰撞等离子体鞘层的时空演化，得到了鞘层边界演化、靶表面的离子注入电流密度和离子注入平均动能等参量。
关键词：等离子体源 离子注入 鞘层 数值计算 
等离子体源离子注入技术被引量：4
《材料导报》1994年第2期79-80,共2页王钧石 陈元儒 黄楠 
国家"863"重点攻关项目(863-715-23-05)
介绍了等离子体源离子注入(PSII)的现状、特点、原理和应用效果。
关键词：等离子体源 离子注入 表面处理 
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