等离子体源

作品数：252被引量：450H指数：10
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面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究
《物理学报》2024年第21期167-176,共10页赵明亮 邢思雨 唐雯 张钰如 高飞 王友年 
国家自然科学基金(批准号:11935005)资助的课题。
针对平面线圈感性耦合氩气放电,本文基于自主开发的三维等离子体流体力学程序,数值模拟了线圈结构以及放电气压对等离子体空间分布的影响.研究表明,由于线圈在环向上具有不对称性,电子密度也具有明显的环向不均匀性.随着气压的增大,这...
关键词：感性耦合等离子体 三维流体模拟 等离子体均匀性 线圈形状 
电子束透射氮化硅薄膜窗产生低密度等离子体
《物理学报》2024年第14期61-67,共7页颜劭祺 高继昆 陈越 马尧 朱晓东 
国家重点研发计划(批准号:2018YFE0301102)资助的课题.
低电子密度等离子体源在电离层等离子体的实验室模拟中具有重要的应用.本文利用高能电子束透射氮化硅薄膜窗口,在低气压条件下激发低密度等离子体.采用蒙特卡罗方法对氮化硅薄膜的电子束透射特性进行模拟;利用CCD相机和静电探针对产生...
关键词：电子束 等离子体产生 等离子体源 电子密度 
低气压感性耦合等离子体源模拟研究进展被引量：4
《物理学报》2021年第9期33-49,共17页张钰如 高飞 王友年 
国家自然科学基金(批准号:11875101,11935005);辽宁省自然科学基金(批准号:2020-MS-114);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:DUT20LAB201,DUT21LAB110)资助的课题。
感性耦合等离子体源具有放电气压低、等离子体密度高、装置结构简单等优点,因此常被用于材料刻蚀及表面处理工艺中.为了深入了解感性耦合等离子体的特性及其与表面的相互作用,数值模拟成为了目前人们普遍采用的研究手段之一.针对具体问...
关键词：感性耦合等离子体 整体模型 流体力学模型 混合模型 偏压鞘层模型 粒子模拟 
射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换被引量：6
《物理学报》2012年第19期337-342,共6页杜寅昌 曹金祥 汪建 郑哲 刘宇 孟刚 任爱民 张生俊 
本文利用微波相位法和光谱诊断法,研究了ICP放电等离子体在圆台状夹层等离子体中E模和H模相互转换的物理现象.E模和H模的之间转换过程是一个瞬间突变的,转换点的输入功率随真空室压强的变化而变化.H模向E模转换的阈值功率低于E模向H模...
关键词：ICP放电 E—H模 等离子体源 等离子体光谱 
半圆形容器等离子体源离子注入过程中离子动力学的两维PIC计算机模拟被引量：8
《物理学报》2008年第10期6450-6456,共7页刘成森 王德真 刘天伟 王艳辉 
表面物理与化学国家重点实验室基金(批准号:90000460200606)资助的课题~~
利用两维particle-in-cell方法研究了半圆形容器表面等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化规律.详尽考察了鞘层内随时间变化的电势分布和离子密度分布规律,离子在鞘层中的运动轨迹和运动状态,得到了半圆容器内、外表面和边缘平面上...
关键词：等离子体源离子注入 鞘层 两维particle-in-cell方法 离子运动轨迹 
空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化被引量：6
《物理学报》2003年第1期109-114,共6页刘成森 王德真 
国家自然科学基金 (批准号 :10 1760 0 5 )资助的课题~~
等离子体源离子注入过程中 ,鞘层的演化规律直接影响到离子注入到材料中的深度进而影响材料表面的性质和结构 ,对材料的不同部位这种影响是不同的 .利用无碰撞两维流体动力学模型 ,研究了有限上升时间的电压脉冲作用下 ,共轴放置附加零...
关键词：空心圆管端点 等离子体源离子注入 鞘层 流体模型 离子密度 离子注入剂量 时空演化 
电子回旋共振等离子体源的数值模拟被引量：10
《物理学报》2000年第3期497-501,共5页刘明海 胡希伟 邬钦崇中国科学院等离子体物理研究所 俞国扬 
国家自然科学基金!(批准号 :6 9493 5 0 0和 1980 5 0 0 8);中国博士后科学基金! (批准号 :9 1998)资助的课题
采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征。
关键词：电子回旋共振 等离子体源 数值模拟 
圆柱模型下电子回旋共振微波等离子体离子输运过程的数值研究被引量：2
《物理学报》1997年第12期2376-2383,共8页宫野 温晓军 张鹏云 邓新绿 
国家自然科学基金
在圆柱模型下，采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区以及工件表面二次电子发射形成的虚拟阴极“屏蔽区”，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程．研究了鞘...
关键词：等离子体源 数值 ECR 微波等离子体 离子输运 
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