等离子体源

作品数：251被引量：448H指数：10
导出分析报告
相关领域：理学金属学及工艺更多>>
相关作者：雷明凯李广宇熊紫兰张仲麟杨思泽更多>>
相关机构：大连理工大学细美事有限公司东京毅力科创株式会社朗姆研究公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金辽宁省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=物理x
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
螺旋波激发等离子体源的原理和应用被引量：11
《物理》1999年第3期162-167,共6页房同珍 
介绍了一种低气压、高密度等离子体源———螺旋波激发等离子体源（ＨＷＰ），讲述了它的结构位形、天线耦合原理和参数设计原则，该离子源在实际中的应用以及目前研究状况．
关键词：螺旋波 等离子体 天线耦合 HWP 结构原理 
电子回旋共振等离子体技术被引量：6
《物理》1996年第10期608-613,635,共7页丁振峰 邬钦崇 任兆杏 
国家自然科学基金
微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术，它具有优良的综合指标，提高了微电子、光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平．文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理。
关键词：电子回旋共振 等离子体源 微波传输 
等离子体源离子注入（Ⅱ）──技术扩展和初步研究结果被引量：4
《物理》1994年第2期106-111,共6页汤宝寅 
等离子体源离子注入（Ⅱ）──技术扩展和初步研究结果汤宝寅（哈尔滨工业大学，哈尔滨１５０００６）在ｐｓｌｌ前期研究工作上，我们主要集中在室温下气体离子注入，主要是氮离子注入。初步研究结果表明，ＰＳＩＩ氮离子注入能够显著...
关键词：等离子体源 离子注入 钛合金 
等离子体源离子注入（I）──原理和技术被引量：22
《物理》1994年第1期41-45,共5页汤宝寅 
等离子体源离子注入（ＰＳＩＩ）是用于材料表面改性的一种新的、廉价的、非视线技术，它消除了一般束线离子注入（ＩＢＩＩ）所固有的视线限制，克服了保持剂量问题，使注入装置变得简单和价廉。介绍了ＰＳＩＩ过程、装置和基本物理与...
关键词：等离子体源 离子注入 表面改性 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部