低压化学气相淀积

作品数：26被引量：46H指数：4
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相关作者：李仁锋谭刚吴嘉丽周再发徐大为更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院电子工程研究所东南大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
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低压化学气相淀积的模型及模拟被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期207-209,共3页徐大为 李伟华 周再发 
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519)
通过对几个淀积工艺模型的讨论,分析了气体在低压下的传输机理及各部分反应对淀积结果的贡献,在此基础上提出了低压化学气象淀积(LPCVD)的二维淀积模型.这个模型在结构上比较简单,计算方便,模型考虑了中间产物的作用,能得到与实际情况...
关键词：低压化学气象沉积(LPCVD) 淀积模拟 计算机模拟 线算法 
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