软光刻

作品数：28被引量：61H指数：4
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相关机构：浙江大学中国科学院重庆大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《南昌航空大学学报（自然科学版）》《光子学报》《半导体信息》《中国医药导报》更多>>
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基于软光刻的高分子生物材料表面图案化及改性研究进展
《中国医药导报》2024年第11期184-186,共3页管馨 翁鑫泽 赖颖真 郑晓丹 
大学生创新创业训练计划项目(国家级)(202312631004);福建省自然科学基金面上项目(2022J011408);福建省中青年教师教育科研项目(科技类)(JAT210489)。
生物材料表面的微形貌通过模仿细胞外基质,对细胞的行为具有调控作用。本文基于聚二甲基硅氧烷软光刻技术,分析热塑性和非热塑性材料的理化和生物特性,阐述如何分别采用熔融浇铸和溶液浇注的方法进行单一或复合表面图案化制备,探讨如何...
关键词：图案化 软光刻 高分子生物材料 改性 
基于柔性菲涅耳透镜阵列的仿生复眼
《激光与光电子学进展》2024年第5期404-410,共7页赵文雅 张业灿 焦永浩 孙昊博 苗宁德 韩冬冬 张永来 
国家自然科学基金(61935008);国家重点研发计划(2022YFB4600403)。
生物复眼具有良好的光学特性,如视野大、体积小、无像差、对运动物体敏感等。而对运动物体敏感对昆虫十分重要,如飞行昆虫觅食时需要追逐小型、快速移动的目标等。受昆虫复眼对运动物体敏感的启发,制备了具有5个小眼的单层复眼,每个小眼...
关键词：飞秒激光 激光技术 柔性仿生复眼 菲涅耳透镜 软光刻 
软体机器人驱动方式与制造工艺研究进展被引量：4
《微纳电子技术》2022年第6期505-515,599,共12页雷静 葛正浩 覃兴蒙 张衡 常博 
中国工程院项目(2020-XY-02);陕西省重点研发计划项目(2019GY-096)。
软体机器人是指由软体材料制造而成的机器人,具有质量轻、灵活性高、环境适应性强、功能多样等优点,用途广泛。驱动方式和制造工艺是软体机器人研究的核心。介绍了软体机器人驱动方式的发展和研究现状,对形状记忆合金驱动、流体驱动、...
关键词：软体机器人 仿生学 智能材料 软光刻 3D打印 
基于微流控技术的液滴微颗粒分选被引量：2
《微纳电子技术》2021年第4期332-336,共5页钟明浩 郭钟宁 刘宇迅 
微流控技术在医疗分析中具有重要的应用意义。在对样品生物分子分析前通常需要进行分选,达到纯化的目的。使用不同种类的微颗粒代替生物分子(如细胞、蛋白质和DNA等),可模拟其在海藻酸钠溶液环境中的作用。通过软光刻制备的微流控芯片...
关键词：海藻酸钠 微流控技术 微颗粒 液滴 分选 软光刻 
基于双层光刻技术制备神经血管单元三细胞共培养微流控芯片被引量：3
《暨南大学学报（自然科学与医学版）》2020年第6期560-568,共9页罗翰 舒伟良 蔡川 陈艳 褚晓凡 
目的:应用双层软光刻技术和微流控芯片技术,制备以星形胶质细胞为桥梁,神经元-星形胶质细胞-脑微血管内皮细胞在同一立体空间或平面内肩并肩生长的微流控芯片.方法:(1)设计一种贯通三通道神经血管单元的体外共培养微流控芯片模型.(2)基...
关键词：软光刻 微流控芯片 神经血管单元 三细胞共培养 
软光刻法制备具有表面微结构的角蛋白膜被引量：4
《化学学报》2019年第6期533-538,共6页朱水洪 罗文昊 曾文斌 林友辉 刘向阳 
国家自然科学基金(Nos.21771150,21401154,U1405226);111计划(No.B16029);广东省自然科学基金(No.2014A030310005);中央高校基本业务费(No.20720170011)资助~~
近年来,使用微纳米制造工艺将蛋白质或多肽进行高精度空间图案化,推动了细胞生物学、组织工程学、药物科学等领域的发展.同时,羊毛角蛋白作为一种储量大的天然生物蛋白质,具有优异的水溶性、良好的生物相容性和可控的降解性,但羊毛角蛋...
关键词：羊毛角蛋白 软光刻 共价交联 图案化 表面微结构 
基于Ag-PDMS复合导电材料的微流控芯片3D电极的制备
《仪表技术与传感器》2017年第6期18-21,25,共5页谢明师 陈鸿 曾一笑 杨凯祥 
提出一种利用Ag粉和聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)制成的复合材料加工微流控芯片3D电极的方法。选取导电性良好的银粉作为填料物,透明性良好和生物兼容的PDMS作为基体。将Ag颗粒表面改性后,用超声法、机械共混法相结合的...
关键词：Ag-PDMS 3D电极 复合导电材料 软光刻 
NOA73材料的微透镜阵列快速制造技术被引量：1
《中国激光》2016年第7期155-161,共7页崔建利 张斌珍 段俊萍 赵龙 南雪莉 刘源 
国家自然科学基金项目(61401405;51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点,研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法。以SU-8负性光刻胶为主模结构材料,采用2次紫外斜曝光工艺,加工出主光轴平行于硅基的微透镜阵列作为主模结构。依次采用聚二...
关键词：光学器件 微透镜阵列 NOA73 斜曝光 聚二甲基硅氧烷 软光刻 
PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺被引量：7
《微纳电子技术》2016年第5期333-339,共7页高均超 段力 王英 刘民 王凤丹 丁桂甫 王强 郑芳芳 邵靖 
中航集团航空发动机联合研发合作项目(GO030002)
介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)软模板的工艺方法,并实现了非平面微加工工艺的图形转移。首先采用深硅电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备了具有图形的硅片硬母版,然后用PDMS对硅片硬母版进行倒模复制,从而得到具有图形的PDM...
关键词：聚二甲基硅氧烷(PDMS) 电感耦合等离子体(ICP) 软光刻 纳米压印 叶片 
基于高分子聚合物毫米波滤波器快速制造技术被引量：1
《微纳电子技术》2015年第10期654-659,共6页崔建利 段俊萍 赵龙 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61401405;51475438);山西省基础研究项目(2014011021-4)
利用UV-LIGA技术制作毫米波腔体滤波器SU-8主模结构,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)对所制作的SU-8主模结构进行一次复制,得到多个相同的负模结构,将负模结构浸泡在羟丙基甲基纤维素(HPMC)溶液中进行表面防粘处理。处理后,使用PDMS-PDMS软光...
关键词：毫米波 聚二甲基硅氧烷(PDMS) NOA73 电磁性能 软光刻 
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