数字波面干涉仪

作品数：10被引量：2H指数：1
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用数字波面干涉仪快速检测平晶的平行度
《工业计量》2011年第1期9-10,共2页曹利波 
文章提出了一种新的检测方法即用数字波面干涉仪检测平晶的平行度。分析了测量不确定度的来源,并对测量不确定度进行了分析评定。与传统的方法相比在保证测量准确度的前提下,大大提高了工作效率。
关键词：数字波面干涉仪 平行度 不确定度 
移相数字波面干涉仪检定平晶平面度
《科技与管理（武汉）》2010年第1期37-43,共7页盛建国 
本文介绍我所与南京英特飞光电技术有限公司共同研发移相干涉系统，运用移相干涉原理，在菲索干涉仪基础上增加移项器、干涉仪控制器、干涉图像移项采集系统和干涉图移项分析软件，形成数字波面干涉仪，并对数字波面干涉仪的不确定度进...
关键词：移相干涉原理 Zemike多项式 面形偏差峰谷值 不确定度 
光学工艺
《中国光学与应用光学》2007年第2期93-95,共3页
关键词：自聚焦透镜 压印光刻 子孔径拼接检测 光刻图形 数字光刻 计算机控制光学表面成形 干法刻蚀 光刻系统 刻蚀形貌 激光直写 负性光刻胶 激光功率密度 磁流变抛光 数字波面干涉仪 曝光工艺 气囊抛光 微细加工 回转对称非球面 激光干涉仪 光学干涉仪 锥体棱镜 
光学薄膜参数测试
《中国光学》2004年第4期68-68,共1页
采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张...
关键词：沉积速率 数字波面干涉仪 沉积温度 电子束蒸发 薄膜残余应力 薄膜微结构 应力状态 工艺参量 张应力 光学薄膜 
用于天文非球面镜检测的计算全息数字波面干涉仪
《光仪技术》1999年第1期30-37,42,共9页鄢静舟 雷凡 
本文介绍了南京天文仪器研制中心正在开发研究中的计算全息数字波面干涉仪，这种干涉仪将计算全息技术、补偿镜干涉技术和数字波面干涉技术有机地结合在一起，能够实现用于天文望远镜光学系统中各晨球面镜的自动、实时的高精度检测。
关键词：天文非球面镜 计算全息 数字波面 干涉仪 
数字波面干涉仪的绝对校正问题被引量：1
《五邑大学学报（自然科学版）》1998年第2期57-59,共3页幸芦笙 
数字波面干涉仪是高精度快速评价光学零件的有效工具，绝对校正是数字波面干涉仪研究中的一项重大技术，本文对数字面干涉仪的绝对校正问题作了一些探讨。
关键词：数字波面干涉仪 干涉仪 绝对校正 光学零件 
LDI-2激光数字波面干涉仪
《光学仪器》1997年第Z1期102-102,共1页
关键词：数字波面干涉仪 面形误差 数字移相 激光 干涉测量 仪器 曲率半径 凹球面镜 定量测量 不确定度 
数字波面干涉仪测试光学材料均匀性
《光学机械》1990年第2期16-21,共6页许卫刚 
本文叙述了一种不受干涉仪系统误差及试样加工误差限制的测试光学材料均匀性的方法。借助于电子计算机,通过对四张干涉图的分析与处理,可以精确计算不包括线性变化的折射率偏差及厚度偏差。给出了两块玻璃的测试结果,并进行了测量精度...
关键词：波面干涉仪 光学材料 测试 数字式 
Mark-Ⅲ数字波面干涉仪及其应用
《应用光学》1989年第1期68-71,共4页史青 
本文介绍Mark-Ⅲ数字波面干涉仪的基本原理、性能以及对实时干涉图的两种处理方法(位相法和ZAPP法)。列举了四组实验数据,给出该仪器在现有环境条件下的实际重复性指标:1.1λ/100p-v(λ=0.6328μm,p-v峰谷值)。并就环境条件的影响及控...
关键词：干涉仪 MARK 干涉测量 峰谷值 干涉图 现有环境 干涉条纹 光学检测 防震台 摄相机 
用于光学表面检测的数字波面干涉仪被引量：1
《仪器仪表学报》1987年第3期253-261,共9页董大年 杨国光 曹天宁 张跃进 
本文讨论了最近研制成功的用于光学表面检测的数字波面干涉仪。利用实时位相检测技术可以高精度重构出数字波面,叙述了仪器的光学系统,电子学接口和软件。该仪器可测定光学平面和球面的面形,精度分别达到λ/40和λ/20,由终端输出面形的...
关键词：光学表面 干涉仪 光学系统 光学平面 干涉图 干涉条纹 光栅测长 参考波 等值线图 球面波 
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