薄膜微结构

作品数:153被引量:327H指数:9
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大气红外波段的片上集成式偏振光谱成像器件
《红外与激光工程》2024年第4期42-50,共9页周健宇 李全民 王劲 黄胜弟 
红外探测与遥感是气象观测的核心技术,红外辐射探测仪作为气象卫星的重要载荷,主要用于大气温度、湿度的定量化探测,其探测精度取决于光谱和偏振测量的通道数。常见的技术方案是通过组合滤光片与偏振片转轮实现光谱和偏振的探测,这造成...
关键词:大气红外 片上集成 薄膜微结构 偏振光谱成像 
基片温度对脉冲激光沉积ZnS:Co薄膜微结构及光学性质的影响研究被引量:2
《真空科学与技术学报》2023年第9期738-744,共7页李树锋 王丽 高东文 
廊坊市科技计划项目(No.2021011002)。
采用脉冲激光沉积技术在石英基片上制备了ZnS:Co薄膜,改变制备过程中石英基片的温度TS,研究了基片温度对薄膜微结构及光学特性的影响。随着基片温度的升高,薄膜的厚度减小,结晶质量得到提升,并朝着(111)方向择优生长。受量子限域效应的...
关键词:脉冲激光沉积 硫化锌掺钴 薄膜 基片温度 
有机光伏薄膜的力学性能调控与预测
《高等学校化学学报》2023年第9期173-181,共9页孙冰 李赛萌 周康康 彭忠祥 叶龙 
国家自然科学基金(批准号:52073207);天津大学北洋学者英才计划资助。
有机光伏电池(OPVs)具有颜色丰富、质轻、柔性等优点,在半透明、可穿戴/可拉伸电子器件领域具有极大的应用前景.本文重点评述了高效率有机光伏活性层薄膜的力学性能调整策略,并概述了其力学性能的理论预测模型.首先,简要介绍了薄膜的力...
关键词:有机光伏电池 力学性能 弹性模量 共轭高分子 薄膜微结构 
微薄膜超材料复合隔声结构的低频宽带隔声研究被引量:2
《噪声与振动控制》2023年第3期260-264,共5页李安康 杨坤 彭安 吴恒亮 
在治理环境噪声方面低频隔声是一个难以解决的顽疾。随着声学超材料的发展,发现由薄膜微结构周期排列构成的轻质隔声材料具有优异的低频隔声性能。研究这种低频隔声材料与传统隔声材料的组合,通过设计这样一种复合结构实现覆盖低频到中...
关键词:声学 薄膜微结构 声学超材料 低频宽带隔声 驻波管 声学小样 
YBa_(2)Cu_(3)O_(7-δ)薄膜微结构的同步辐射三维倒空间扫描研究
《物理学报》2023年第4期193-200,共8页易栖如 熊沛雨 王焕华 李港 王云开 董恩阳 陈雨 沈治邦 吴云 袁洁 金魁 高琛 
国家重点研发计划(批准号:2022YFA1603900);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:E1E40207X2);中国科学院大学高水平人才培育与稳定支持专项(批准号:E1EG0210X2,118900M018)资助的课题。
高温超导薄膜因其微波表面电阻低,可用于尖端高温超导微波器件的制作.然而由于高温超导材料特殊的二维超导机制和极短的超导相干长度,高温超导材料的微波表面电阻对微结构特别敏感.为了探究高温超导材料微结构和微波电阻的联系,采用脉...
关键词:三维倒空间扫描 YBCO薄膜 微结构 
铝掺杂对硼化锆薄膜微结构及电学性能的影响
《真空与低温》2022年第5期532-536,共5页孟瑜 弥娟莉 李雷 
陕西省科技计划项目(2022JM-253,2018JQ5173);陕西省教育厅科技项目(21JS036,19JS056);西安市科技计划项目(21XJZZ0069);西安文理学院科研团队:先进表面工程与装备延寿(XAWLKYTD013)。
二硼化锆(ZrB_(2))具有优异的电学性能、热稳定性和力学性能,广泛应用于微电子产品和高温陶瓷领域,采用元素掺杂的方法可以对其成分和微观组织结构进行调控。采用磁控共溅射技术在Si(100)基底上制备了不同Al含量的ZrB_(2)薄膜,利用X射...
关键词:磁控溅射 ZrB_(2)薄膜 AL掺杂 微观结构 电学性能 
薄膜微结构换能元温度测量技术研究被引量:2
《传感技术学报》2022年第8期1011-1017,共7页张一中 韦学勇 张国栋 赵玉龙 平川 张蕊 任炜 
装备预研领域基金项目(61406190504)。
为了适应火工品微型化、集成化和智能化等发展趋势,薄膜微结构换能元的引发温度测试已成为一项亟需解决的关键问题。采用MEMS技术将薄膜铂电阻和薄膜微结构换能元集成在氮化硅基底上,利用原子力显微镜等设备对薄膜铂电阻的几何尺寸进行...
关键词:MEMS火工品 引发温度 薄膜微结构换能元 薄膜铂电阻 
制备方法对ZnO纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究
《科技创新与应用》2022年第17期19-22,共4页陈真英 李飞 
国家自然科学基金项目(51862031);全国大学生创新训练计划项目(201911607009);北部湾大学高层次人才科研启动项目(18KYQD50)。
本实验分别采用射频磁控溅射法和电子束蒸发法在普通玻璃衬底上制备ZnO薄膜样品,并对样品的外观形貌、微观形貌及结构、光电性能进行测试和表征。测试结果表明,磁控溅射制备的薄膜呈透明状,薄膜平整致密,晶粒比较大,缺陷浓度比较少,薄...
关键词:ZnO纳米薄膜 磁控溅射 电子束蒸发 微观形貌及结构 光电性能 
沉积条件对室温下磁控溅射AZO薄膜微结构与光电性能的影响被引量:1
《半导体光电》2022年第3期561-566,577,共7页莫敏静 刘哲 马紫腾 董志虎 刘雍 魏长伟 何春清 
国家重点研发计划项目(2019YFA0210003);国家自然科学基金项目(12075172,12074291,11875209)。
通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有...
关键词:AZO透明导电薄膜 射频磁控溅射 室温 气压 功率 沉积时间 
衬底温度对氧化锌薄膜微结构及光学性能的影响被引量:4
《人工晶体学报》2021年第9期1681-1687,1722,共8页陈星辉 唐颖慧 王加强 柴晗阳 魏新琪 陈光伟 
湖南省大学生创新创业训练计划项目(湘教通[2020]191-3062);湖南省教育厅普通高校教学改革研究基金(湘教通[2019]291-579)。
衬底温度是磁控溅射法制备氧化锌薄膜中一个非常重要的工艺指标,探索衬底温度对氧化锌薄膜微结构及光学性能的影响对制备环保型高质量氧化锌紫外屏蔽材料具有重要意义。以质量分数99.99%的氧化锌陶瓷靶为溅射源,利用射频磁控溅射技术在...
关键词:ZNO薄膜 磁控溅射 衬底温度 光学性能 择优取向 结晶质量 
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