酸增殖剂

作品数:8被引量:19H指数:2
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相关作者:周庆莉张阳张存林王力元余尚先更多>>
相关机构:首都师范大学北京师范大学北京工商大学北京印刷学院更多>>
相关期刊:《洛阳师范学院学报》《激光与红外》《北京印刷学院学报》《化学通报(中英文)》更多>>
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杯[4]间苯二酚芳烃类酸增殖剂的合成及性能表征
《北京印刷学院学报》2010年第6期23-25,共3页王文广 柳玲 蒲嘉陵 
印刷包装材料与技术北京市重点实验室开放课题(KF201008)
以间苯二酚为原料,分别与正十一醛和月桂醛,在盐酸、乙醇回流条件下进行缩合成环反应,得到中间体杯[4]间苯二酚芳烃衍生物;中间体再与对甲苯磺酰氯经过酯化反应制备了两种杯[4]间苯二酚芳烃衍生物类酸增殖剂,其结构经1HNMR、IR等分析确...
关键词:间苯二酚芳烃衍生物 酸增殖剂 对甲苯磺酸酯 
1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究
《感光科学与光化学》2005年第5期389-393,共5页盛丽英 张颂培 王力元 
国家"十五""863"专项子课题(2002AA3Z1330-2).
用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能.结果表明,在光产酸剂所产酸作用下,在加热条件...
关键词:酸增殖剂 光产酸剂 光致抗蚀剂 磺酸酯 
酸增殖剂的合成及其应用原理被引量:1
《洛阳师范学院学报》2004年第2期47-51,共5页陈娟 张颂培 祝钧 李森兰 
综述了酸增殖剂研究新进展 ,重点介绍了几种有应用前景的酸增殖剂及其反应机理 .讨论了酸增殖剂在化学增幅型抗蚀剂体系、UV紫外光固化材料、CTP制版中的应用 .
关键词:酸增殖荆 化学增幅型抗蚀剂 磺酸酯 
酸增殖剂研究进展被引量:4
《感光科学与光化学》2003年第4期296-302,共7页王文君 张改莲 王力元 余尚先 
2002-2003国家重点863项目(2002AA3Z1330)
本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.
关键词:化学增幅抗蚀剂 酸增殖剂 光致抗蚀剂 感度 
化学增幅抗蚀剂用光产酸源被引量:12
《化学通报》2003年第7期474-478,共5页杨凌露 张改莲 余尚先 
国家‘8 6 3’计划资助项目 ( 2 0 0 1AA32 710 2 )
对化学增幅抗蚀剂体系的组成及化学增幅作用做了阐述。介绍了化学增幅作用中的关键组分———光产酸源和酸增殖剂的发展概况 ,并对重氮盐、盐、有机多卤化物、磺酸酯类化合物等产酸源的产酸机理、适用光源分别进行了阐述。从目前国际...
关键词:化学增幅 抗蚀剂 光产酸源 光化学反应 酸增殖剂 集成电路 
酸增殖剂及其应用
《精细与专用化学品》2003年第5期21-23,18,共4页周庆莉 张存林 曹胜利 
基于自催化酸解反应的酸增殖是新的提高成像灵敏度的方法。目前发现有实用价值的酸增殖剂绝大多数为磺酸酯类化合物。本文详细介绍了酸增殖机理和酸增殖剂的种类,比较了2-甲基-2-(对甲苯磺酰氧甲基)-3-酮-丁酸叔丁酯、环己二醇二甲苯磺...
关键词:酸增殖剂 应用 化学增幅抗蚀 磺酸酯 自催化酸解反应 远紫外照相平版 成像灵敏度 
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