电磁型

作品数：132被引量：308H指数：9
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基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作被引量：1
《微细加工技术》2007年第5期56-60,共5页张永华 欧阳炜霞 汪红 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划资助项目(2003AA404140);信息产业部电科院预研资助项目(41308050116);国家自然科学基金资助项目(60676047);上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难。对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究。经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材...
关键词：微机电系统 射频开关 双稳态 电磁驱动 集成加工 
Φ2mm微马达驱动旋转式微泵被引量：5
《微细加工技术》2000年第1期55-60,共6页章吉良 杨春生 赵小林 张卫平 蔡炳初 
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中 ,均需要流量的精细控制和检测系统。在这类流量精细控制和检测系统中 ,微小型泵是一个基本元件。作者利用上海交通大学研制成功的、由微细加工工艺制备的、直径为2mm的...
关键词：电磁型微马达 钛合金叶轮 旋转式微泵 流量控制 
电磁型微马达的微转子研究被引量：4
《微细加工技术》1999年第4期47-50,46,共5页杨春生 赵小林 丁桂甫 余晋岳 
简要介绍了直径２ｍ ｍ 电磁型微马达的结构和磁路。对微转子的设计和加工，多微磁极的写（ 充） 入和均匀性进行分析和讨论。测量了不同充磁条件下的微转子剩余磁化强度和微转子之间的吸力。
关键词：微电机 微转子 充磁 微机电系统 电磁型 
嵌入式电磁型微电机定子绕组的研制被引量：7
《微细加工技术》1999年第4期62-64,共3页赵小林 丁桂甫 张明生 倪智平 毛海平 
阐述了采用ＮｉＦｅ 合金作为微电机定子绕组的铁芯材料，完成了电磁型微电机从非嵌入式向常规的嵌入式定子绕组的转变，无论是从定性分析还是从最后的测量结果都证明在相同的条件下，嵌入式电磁型微电机定子绕组的输出力矩要大大高于...
关键词：嵌入式 绕组 微电机 定子 电磁型 
φ1mm电磁型微电机定子绕组研制被引量：5
《微细加工技术》1998年第3期58-62,共5页赵小林 杨春生 周狄 张琛 
本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发1 mm电磁型微电机定子绕组的制备工艺。采用高 -高比光刻技术和掩模电镀工艺 ,解决了高 -高宽比线圈的制备工艺 ,有效地降低了线圈的直流电阻 ,另外用 Al2 O3薄膜溅射工艺解决了线圈层间的绝...
关键词：高-高比光刻 定子绕组 电磁型 微电机 掩模电镀 
用于φ2mm电磁型微马达的微3K-2型行星齿轮减速器的研究被引量：3
《微细加工技术》1997年第4期49-54,共6页陈文元 丁涛 李世峰 姚景元 
本文仅就用于微马达的微3K－2型行星齿轮减速器的设计，微细电火花（EDM；electricaldischargemachining）加工以及研究中的一些难点作一阐述。
关键词：微型机电系统 微马达 行星齿轮 减速器 
电磁型微电机定子绕组的研制被引量：7
《微细加工技术》1995年第3期44-48,共5页赵小林 宋柏泉 周狄 
本文主要阐述应用微细力。工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺，重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线围绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线...
关键词：电磁型 微电机 定子绕组 掩摸电镀 
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