凸角补偿

作品数：18被引量：35H指数：3
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林大学华中科技大学北京大学更多>>
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硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法被引量：3
《传感器与微系统》2019年第3期25-27,共3页郭玉刚 吴佐飞 田雷 
针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验。通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终获取具有期望效果的补偿结构。该方法应用于压力传感器芯片的...
关键词：各向异性腐蚀 削角腐蚀 凸角补偿 过载保护 
用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期106-110,共5页王婷婷 曾毅波 王盛贵 魏秀燕 毕瑞可 郭航 
福建省重大科技项目前期研究计划资助项目(2005HZ1021)
在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结...
关键词：微腔体 铷原子钟 各项异性湿法腐蚀 超声腐蚀 激光共聚焦扫描显微镜 凸角补偿 
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