平面微弹簧

作品数：16被引量：59H指数：5
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相关领域：机械工程兵器科学与技术更多>>
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相关机构：南京理工大学上海交通大学北京理工大学电子科技大学更多>>
相关期刊：《机械设计》《新技术新工艺》《传感技术学报》《光学精密工程》更多>>
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O型MEMS平面微弹簧弹性系数研究被引量：1
《微纳电子技术》2011年第10期660-663,共4页吴鹏飞 张国俊 钟志亲 戴丽萍 王姝娅 
对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2%。在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数...
关键词：微机电系统(MEMS) 平面微弹簧 卡氏第二定律 弹性系数 有限元方法(FEM) 
MEMS镍平面弹簧非线性力学性能仿真及研究被引量：3
《微纳电子技术》2010年第12期736-741,共6页隋灵禾 戴旭涵 王佩红 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50977056)
工程应用中,平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略,弹簧结构的几何非线性是引起这种现象的主要原因。针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力学仿真,计算出弹簧弹性力F与弹性形变x之间的对应关系,并与采用M...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 平面微弹簧 弹性系数 几何非线性 ANSYS 
平面微弹簧的模拟、加工制备和力学性能表征研究被引量：2
《微纳电子技术》2003年第7期57-60,共4页陈迪 石磊 朱军 李建华 倪智萍 刘景全 李以贵 
国家"8 63"计划MEMS重大 5专项资助项目(2 0 0 2AA40 415 0 )
微弹簧是一种重要的MEMS器件 ,可为微传感器和微执行器提供弹性力。我们设计并用UV LIGA技术制备了数种不同形状的平面微弹簧 ,并用ANSYS对其力学性能如刚度、断裂强度等进行了模拟。由于制备出的平面微弹簧体积很小 ,无法用常规的测试...
关键词：平面微弹簧 MEMS器件 UV-LIGA技术 力学性能 加工制备 
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