平坦化

作品数：272被引量：519H指数：8
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小尺寸器件的金属栅平坦化新技术
《真空科学与技术学报》2016年第9期1030-1033,共4页赵治国 殷华湘 朱慧珑 张永奎 张严波 秦长亮 张青竹 张月 赵超 
随着高k金属栅工程在45 nm技术节点上的成功应用,该技术已成为亚30 nm以下技术节点不可缺少的关键模块化工程。同时,如何保证高k金属栅能够在集成过程中得到有效的平坦化,保证器件正常性能也成为了金属后栅工艺的关键技术之一。本文提...
关键词：高k金属栅 反应离子刻蚀 介质再沉积 化学机械平坦化 
金属栅回刻平坦化技术被引量：1
《真空科学与技术学报》2012年第9期793-797,共5页孟令款 殷华湘 徐秋霞 陈大鹏 叶甜春 
极大规模集成电路制造技术及成套工艺(02专项)(No.2009ZX02035);国家自然科学基金项目(No.60776030);中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室课题资金资助
随着CMOS集成电路技术节点缩减到45 nm及以下,高K金属栅(HK/MG)的后栅集成工艺已逐渐成为先进集成电路制造中的主流技术。其中金属栅(假栅)集成结构的平坦化是实现后栅集成的关键技术之一。本文通过特色开发的SOG两步等离子体回刻结合O...
关键词：金属栅 假栅 旋转涂布玻璃 等离子回刻 平坦化 
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