电子束蒸发

作品数：382被引量：891H指数：11
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充氧口位置对电子束蒸发沉积HfO_2薄膜性质的影响被引量：2
《中国激光》2016年第10期127-132,共6页郑如玺 易葵 范正修 邵建达 涂飞飞 
国家自然科学基金(61308012)
充氧口位置直接影响了真空室内的氧气分布,进而对薄膜的光学性能造成重要影响。为了研究充氧口位置对HfO_2薄膜性质的影响,在2个典型的充氧口位置采用电子束蒸发技术在石英基底上沉积了HfO_2单层膜,并结合紫外-可见光分光光度计和X射线...
关键词：薄膜 HFO2薄膜 充氧口位置 k-ε模型 电子束蒸发 数值模拟 
基底温度对电子束沉积SiO2薄膜的影响被引量：4
《中国激光》2014年第10期176-180,共5页杜倩倩 王文军 李淑红 刘云龙 和晓晓 高学喜 张丙元 史强 
国家自然科学基金(61275147);山东省科技攻关计划(2010GGX10127);山东省自然科学基金(ZR2012AL11,ZR2013EML006);山东省“泰山学者”建设工程专项经费;聊城大学重点科研基金
利用热力学统计理论及薄膜生长理论,给出了薄膜堆积密度、折射率与基底温度之间的关系。在实验中采用电子束热蒸发技术,在不同的沉积速率和基底温度下制备了单层二氧化硅薄膜。研究了沉积速率与薄膜表面均匀度及折射率的关系,并着重分...
关键词：薄膜 电子束蒸发 基底温度 堆积密度 
可见与红外制导系统高通滤光片的研制被引量：11
《中国激光》2013年第1期174-179,共6页付秀华 王刚 刘冬梅 张静 
可见与红外的制导系统作为一种制导手段,在军事领域得到了越来越广泛的重视。为了满足红外光学仪器的使用要求,根据薄膜光学理论对可见-红外3个波段进行了膜系设计;对几种常用的可见与红外材料进行对比,分别用硫化锌和氟化镱作为镀膜材...
关键词：薄膜 红外滤光膜 电子束蒸发 离子辅助沉积 
紫外光通信滤光膜的研制被引量：7
《中国激光》2011年第12期163-168,共6页沈羿 刘冬梅 付秀华 王海燕 于远航 
紫外技术项目(51317020103)资助课题
紫外光通信作为一种新型通信手段,以其保密性高、抗干扰能力强等优点在军事领域得到越来越广泛的重视。为满足紫外光通信系统的要求,在Φ210mm的石英基底上,制备了254nm,反射率大于95%,280～600nm平均透射率大于98%并满足角度12°～30...
关键词：薄膜 紫外滤光膜 电子束蒸发 离子辅助 
电子束蒸镀H4膜工艺及其在808nm激光器腔面膜上的应用被引量：14
《中国激光》2010年第12期3140-3144,共5页刘春玲 王春武 王广德 乔忠良 姜文龙 么艳平 陈万金 
国家青年基金(10804036);吉林省科技发展计划项目(20080528;20082112);四平市科技局计划项目(四科合字第2008013号)资助课题
采用离子辅助电子束蒸镀H4(H4是两种激光损伤阈值较高的材料氧化钛和氧化镧化合而成,分子式LaTiO3)薄膜。研究了氧气压力和基底温度对薄膜的光学性能的影响。实验发现,随着基底温度升高,H4膜的折射率n明显增加,基底温度为100℃时,n808 n...
关键词：薄膜 H4膜 半导体激光器 腔面膜 电子束蒸发 
热处理对电子束蒸发TiO_2雕塑薄膜双折射性能的影响被引量：4
《中国激光》2009年第8期2166-2170,共5页肖秀娣 董国平 邓淞文 邵建达 范正修 
国家自然科学基金(60778026);上海市青年科技启明星计划(07QB14006)资助课题
使用倾角电子束蒸发技术制备了TiO_2雕塑薄膜,通过对雕塑薄膜在不同退火温度和退火时间下进行热处理,发现热处理工艺可以优化薄膜的双折射特性和相位延迟性能。实验结果表明,TiO_2雕塑薄膜的最佳退火条件为500℃下处理4 h,其双折射值达0...
关键词：薄膜 雕塑薄膜 倾斜沉积 双折射 相位延迟 
沉积温度对电子束蒸发HfO_2薄膜残余应力的影响被引量：9
《中国激光》2006年第6期827-831,共5页申雁鸣 贺洪波 邵淑英 范正修 
国家863计划(2005AA842040)资助项目
采用电子束蒸发沉积方法在BK7玻璃基底和熔融石英基底上沉积了HfO2薄膜,研究了不同沉积温度下的应力变化规律。利用ZYGO干涉仪测量了基片镀膜前后曲率半径的变化,计算了薄膜应力。结果发现在所考察的实验条件下HfO2薄膜的残余应力均为...
关键词：薄膜 HFO2薄膜 残余应力 沉积温度 基底 电子束蒸发 
电子束蒸发制备平板偏振膜激光损伤特性研究被引量：1
《中国激光》2006年第6期837-841,共5页毕军 黄建兵 占美琼 张伟丽 易葵 
采用电子束蒸发沉积技术制备了平板偏振膜。用Lambda900分光光度计测试了其光学性能。在中心波长1053 nm处P偏振光的透过率TP>98%,S偏振光的透过率TS<0.5%,消光比TP/TS>200∶1,带宽约为20 nm。用波长1064 nm,脉宽12 ns的脉冲激光进行损...
关键词：薄膜 平板偏振膜 损伤阈值 电子束蒸发 
沉积温度对电子束蒸发沉积ZrO_2薄膜性质的影响被引量：20
《中国激光》2004年第6期701-704,共4页邵淑英 范正修 范瑞瑛 贺洪波 邵建达 
ZrO2 薄膜样品在不同的沉积温度下用电子束蒸发的方法沉积而成。利用X射线衍射 (XRD)仪和原子力显微镜 (AFM)检测了ZrO2 薄膜的晶体结构和表面形貌 ,发现室温下沉积ZrO2 薄膜样品为非晶结构 ,随着沉积温度升高 ,ZrO2 薄膜出现明显的结...
关键词：薄膜物理学 ZRO2薄膜 电子束蒸发 沉积温度 
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