椭偏仪

作品数：133被引量：369H指数：10
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基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究
《金属加工（冷加工）》2015年第15期74-74,共1页陈修国 刘世元 
光学散射测量技术由于具有测量速度快、成本低、非破坏和易于集成等优点,目前已经发展为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段。传统光学散射测量技术基于光谱椭偏仪,只能改变波长和入射角2个测量条件且每次测量只...
关键词：椭偏仪 测量技术 传统光学 测量条件 测量速度 在线测量 几何参数 批量化 振幅比 参数提取 
基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究
《机械工程学报》2015年第10期7-7,共1页陈修国 刘世元 
纳米制造是指产品特征尺寸为纳米量级的制造技术。为了实现纳米制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性,保证基于纳米科技的产品满足可靠性、一致性、经济性及规模化生产等多方面的要求,在纳米制造过程中对纳米结构的几何特...
关键词：椭偏仪 原子力显微镜 可操纵性 可重复性 测量技术 制造工艺 特征参数 扫描电子显微镜 制造过程 可扩展性 
基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量被引量：5
《物理学报》2014年第18期148-159,共12页陈修国 刘世元 张传维 吴懿平 马智超 孙堂友 徐智谋 
国家自然科学基金(批准号:91023032;51005091);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ160002);教育部长江学者和创新团队发展计划资助的课题~~
在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵...
关键词：纳米压印 纳米测量 Mueller矩阵椭偏仪 测量准确度 
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