椭圆偏振光谱

作品数:85被引量:136H指数:6
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镧掺杂BiGaO_3多晶薄膜光学性质
《红外与毫米波学报》2015年第4期447-451,共5页张金中 诸佳俊 邓青林 余温雷 李亚巍 胡志高 孟祥建 褚君浩 
国家重点基础研究发展规划(2011CB922200;2013CB922300);国家自然科学基金(11374097;61376129);上海市科学技术委员会项目(13JC1402100;13JC1404200);上海高校特聘教授(东方学者)项目~~
采用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备了不同镧掺杂浓度BiGaO_3(Lx BGO,0≤x≤0.1)薄膜.X-射线衍射(XRD)表明该属于正交晶系的多晶薄膜,原子力显微镜(AFM)图像显示样品表面具有很好的平整性.采用椭圆偏振技术对其光学性质进行...
关键词:BiGaO3 椭圆偏振光谱 光学性质 光学常数 光学禁带宽度 
椭圆偏振光谱实时在线监测与离线分析微晶硅薄膜的生长被引量:3
《物理学报》2012年第3期398-404,共7页李新利 谷锦华 高海波 陈永生 郜小勇 杨仕娥 卢景霄 李瑞 焦岳超 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB202601;2011CB201606);国家自然科学基金(批准号:51007082)资助的课题~~
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术高速沉积了有无籽晶层两个系列微晶硅薄膜.通过椭圆偏振光谱、拉曼光谱和XRD对薄膜进行了分析,发现采用籽晶层后,在薄膜沉积初期有促进晶化的作用;由于籽晶层减少了薄膜的诱导成核时间,提高了薄...
关键词:微晶硅薄膜 籽晶法 高速沉积 实时在线椭圆偏振光谱 
蓝宝石上GaN基多层膜结构椭偏研究
《功能材料》2010年第5期878-880,共3页杜江锋 赵金霞 罗谦 于奇 夏建新 杨谟华 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(513270408);国家自然科学基金资助项目(60576007)
对InN/GaN/Al2O3和Ga2O3/GaN/Al2O3多层膜结构进行了椭圆偏振光谱研究。所有GaN样品均采用MOCVD工艺在蓝宝石(Al2O3)衬底上生长所得。应用多层介质膜模型,在300~800nm测试波长范围内拟合得到了样品各层厚度和折射率色散关系,并与GaN单...
关键词:GAN 椭圆偏振光谱 INN GA2O3 
MOCVD制备InN薄膜的光学性质被引量:1
《Journal of Semiconductors》2007年第11期1761-1764,共4页孔洁莹 张荣 刘斌 谢自力 张勇 修向前 郑有炓 
国家重点基础研究发展规划(2006CB6049);国家高技术研究发展计划;国家自然科学基金(批准号:6039070;60476030;60421003);教育部重大项目(批准号:10416);高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20050284004);江苏省自然科学基金(批准号:BK2005210);江苏省高等学校;南京大学研究生科研创新基金资助项目~~
利用吸收光谱、光致发光谱、喇曼散射光谱和椭圆偏振光谱一系列光学手段,对采用金属有机物气相沉积法(MOCVD)制备的InN薄膜的光学性质进行了系统研究.吸收光谱和光致发光谱的结果清晰地证明了高质量InN薄膜的光学带隙宽度为0.68eV,接近...
关键词:氮化铟 吸收光谱 光致发光谱 椭圆偏振光谱 
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