微电铸

作品数：74被引量：212H指数：8
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相关机构：大连理工大学上海交通大学中国科学院合肥工业大学更多>>
相关期刊：《机械工程学报》《兵工学报》《机械设计与制造》《国防制造技术》更多>>
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基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法被引量：4
《机械工程学报》2011年第3期179-185,共7页刘冲 李苗苗 施维枝 杜立群 王立鼎 
国家科技支撑研究发展计划(863计划;2006BAF04B13);国家重点基础研究发展计划(973计划;2007CB714502);国家自然科学基金(20890024;50575036)资助项目
以SU-8胶为微电铸母模制作镍模具时,胶模的热溶胀性使胶模变形,导致铸层线宽缩小,这是影响微电铸铸层尺寸精度的主要因素。针对密集蛇形沟道图形的镍模具微电铸工艺,以200.0μm厚SU-8胶为胶模,研究微电铸铸层尺寸精度的控制方法,提出基...
关键词：微电铸 SU-8胶 热溶胀性 隔离带 尺寸精度 
微电铸中电流-流体耦合的数值分析及实验被引量：5
《光学精密工程》2009年第9期2184-2190,共7页邵力耕 杜立群 刘冲 王立鼎 
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13);国家自然科学基金资助项目(No.50675025)
研究了LIGA/UV-LIGA的核心技术微电铸的内在规律,对影响铸层生长的阴极电流密度和流体流场进行了数值分析。以微流控芯片微模具上的十字电铸层为研究对象,建立了微电铸的数学模型。给出了描述微电铸体系电流密度和流体流场的偏微分方程...
关键词：微电铸 阴极电流密度 流体 三维数值仿真 
金属基底上三维可动微机构的制作被引量：1
《纳米技术与精密工程》2009年第1期36-40,共5页杜立群 喻立川 刘文涛 宋磊 
国家自然科学基金资助项目(50675025);国家科技支撑计划项目( 2006BAF04B13)
在无背板生长工艺的基础上,以SU-8胶为牺牲层,直接在金属 Ni 基底上制作出了一种三维可动微机构.该器件的制作主要采用了SU-8厚胶光刻工艺、高深宽比结构的微电铸工艺以及牺牲层工艺.就SU-8胶与金属基底结合差、易产生气泡、去除困难,...
关键词：SU-8厚胶光刻 微电铸 牺牲层技术 微结构 可动机构 
后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响被引量：8
《光学精密工程》2008年第3期500-504,共5页杜立群 朱神渺 喻立川 
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13);国家自然科学基金资助项目(No.50675025)
SU-8光刻胶层内应力会使胶体结构开裂变形,而其在电铸液中的热溶胀效应则是造成微电铸结构线宽减小的主要因素,SU-8胶的内应力和溶胀性还严重地影响所制作图形的深宽比和尺寸精确性。本文研究了不同后烘温度下SU-8胶在电铸液中的热溶胀...
关键词：SU-8光刻胶 微电铸 热溶胀性 内应力 
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