微电铸

作品数：74被引量：212H指数：8
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相关领域：化学工程电子电信更多>>
相关作者：杜立群刘冲丁桂甫阮久福赵明更多>>
相关机构：大连理工大学上海交通大学中国科学院合肥工业大学更多>>
相关期刊：《机械工程学报》《机械设计与制造》《兵工学报》《国防制造技术》更多>>
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水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响被引量：4
《传感器与微系统》2011年第6期20-23,共4页陈晖 汪红 李光杨 姚锦元 王艳 丁桂甫 
上海市科委科研计划资助项目(0852nm02600);国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79)
利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究不同流动方式对均匀性的影响。模拟结果表明:当物质传递成为控制步骤时,增强对流—扩散虽然有利于物质传...
关键词：微电铸 对流—扩散传质 传质阻力 流动方式 
对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响被引量：1
《传感器与微系统》2010年第8期41-43,47,共4页陈晖 李光杨 汪红 王艳 丁桂甫 赵小林 
上海市科委科研计划资助项目(0852nm02600);国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79)
利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流—扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时,...
关键词：微电铸 对流-扩散传质 渗透流 回流 
一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究被引量：4
《传感器与微系统》2009年第6期117-120,共4页张晓鹏 戴旭涵 苗小丹 丁桂甫 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50405013);国家"863"计划资助项目(2006AA04Z360)
介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标...
关键词：微机电系统 电磁驱动 微电铸 湿法腐蚀 
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