微机械结构

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微光机电系统
《电子工业专用设备》2008年第7期24-24,共1页
微光机电系统（MOEMS）是以批量化的微电子技术为基础，通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术，制造出各种微机械结构，并使之与电路相集成，组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。
关键词：微光机电系统 各向异性腐蚀 微电子技术 牺牲层腐蚀 微机械结构 各向同性 信息获取 微系统 
微细台阶测量技术的发展现状被引量：5
《电子工业专用设备》2001年第2期1-6,共6页白立芬 李庆祥 薛实福 黄成伟 
国家自然科学基金资助项目 (5 9875 0 5 2 )
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量...
关键词：微细台阶 纳米技术 接触式测量 非接触式测量 技术发展 集成电路 微机械结构 
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