微孔加工

作品数：124被引量：436H指数：11
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石英玻璃的紫外飞秒激光光丝高精度加工技术研究
《中国激光》2024年第12期465-473,共9页薛波 贾平岗 安国文 苏建慧 王灏荃 杨楠 熊继军 
国家自然科学基金(52075505,51935011);国家科技重大专项(J2019-V-0015-0110);山西省科技创新人才团队专项(202204051001016)。
石英玻璃的高精度加工在微机电器件封装、光纤传感和微电子封装等领域有着巨大的需求。为进一步提升加工精度和加工质量,本课题组开展了基于光丝效应的343 nm紫外飞秒激光加工实验,研究了激光焦点位置、脉冲能量、重复频率、扫描速度和...
关键词：飞秒激光 石英玻璃 光丝效应 精密切割 微孔加工 
基于双振镜组的微孔激光旋切加工系统被引量：1
《中国激光》2023年第12期245-251,共7页龙宙 秦应雄 许文强 秦庆全 肖金陵 童杰 段光前 
宿迁市科技计划项目(H202009)。
为实现孔径和锥度可调的微孔加工,设计研制了一种基于双振镜组联动与Z轴上下移动的五轴四联动激光旋切系统。建立了微孔激光旋切物理模型,首先利用边缘轮廓确定微孔形状,再通过分层回型填充方法确定每个激光作用点的位置;然后基于聚焦...
关键词：激光技术 激光旋切 微孔加工 双振镜组 分层填充 锥度调节 
飞秒激光时空整形电子动态调控加工微光学元件被引量：7
《中国激光》2022年第10期99-118,共20页吴梦楠 李晓炜 向志昆 张乐仪 杨炎培 王志鹏 刘洋 
国家自然科学基金(52075041);北京市自然科学基金(JQ20015);北京高校卓越青年科学家计划(BJJWZYJH01201910007022)。
飞秒激光加工具有精度高、无污染、材料适用性广、热效应小等特点,在加工微光学元件方面有着独特的优势。通过对飞秒激光进行时间和空间整形,调控电子动态及其后续的电子-声子作用过程,能够有效提高加工精度和加工效率,解决微光学元件...
关键词：激光技术 飞秒激光 电子动态调控 微孔加工 时空整形 微光学元件 
超快激光旋光钻孔孔径和锥度的控制被引量：11
《中国激光》2021年第8期188-195,共8页阿占文 陈灵灵 吴影 杜荣葆 白海林 邹贵生 
国家重点研发计划(2017YFB1104900);国家自然科学基金(51775299,52075287);国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(51520105007)。
孔径和锥度的控制是超快激光微孔加工面临的难点之一,旋光钻孔是控制孔径和锥度的有效手段。因此,针对道威棱镜旋光钻孔系统,首先,从几何光学的角度研究了聚焦后激光出射角度和光斑旋转直径与可平移反射镜位置、楔形棱镜旋转角之间的关...
关键词：激光技术 超快光学 旋光微孔加工 道威棱镜 孔径 锥度 
超快激光微孔加工工艺研究进展被引量：11
《中国激光》2021年第8期148-160,共13页阿占文 吴影 肖宇 耿瑞琨 邹贵生 
国家重点研发计划(2017YFB1104900);国家自然科学基金(51775299,52075287,51520105007)。
硬脆和复杂结构材料上的微孔加工是超快激光的主要应用之一。超快激光微孔加工的质量和加工效率受单脉冲能量、频率、脉宽、偏振等光束特性以及加工方式、被加工材料、辅助方式等多个因素的综合影响。不同的工艺参数组合将导致不同的孔...
关键词：激光技术 超快激光 微孔加工 工艺参数 光束特性 
FR-4覆铜板飞秒激光微孔加工工艺研究被引量：18
《中国激光》2020年第12期127-135,共9页郭敏超 王明娣 张胜江 林瑶 王欣玥 尹梓航 王贤宝 
国家自然科学基金(51675360);苏州市重点产业技术创新-重点研发产业化项目(SGC201924);苏州市科技计划项目(SYG201805)。
针对FR-4覆铜板高精度微孔成形中传统机械打孔流程繁琐、精密化程度低等问题,采用飞秒激光对覆铜板进行单因素试验和正交试验,以入口直径、出口直径和锥度作为评判指标,探讨工艺参数对微孔质量的影响规律。结果表明,对微孔质量影响最大...
关键词：激光技术 飞秒激光 FR-4覆铜板 打孔 微孔质量 
飞秒激光参数对石英玻璃微孔加工的影响被引量：34
《中国激光》2015年第4期37-42,共6页邢松龄 刘磊 邹贵生 张学谦 白海林 Y N Zhou 
国家自然科学基金(51375261);北京市自然科学基金(3132020);博士点专项科研基金(20130002110009);清华大学自主科研计划(2013Z02-1)
微孔加工是微器件加工中的重要环节,飞秒激光的强烈非线性吸收和"冷加工"特性使其在玻璃微纳加工方面有独特的优势和应用前景。选用石英玻璃作为试验材料,研究飞秒激光参数对微孔深径比及形貌的影响。结果表明,飞秒激光脉冲能量、打孔...
关键词：超快光学 飞秒激光 微孔加工 石英玻璃 倍频 
飞秒激光工艺参数对加工TiC陶瓷微孔的影响被引量：21
《中国激光》2014年第10期100-106,共7页王禹茜 张军战 刘永胜 杨小君 李玮楠 王春辉 
科技部国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ12007504);国家自然科学基金(51002120;51032006);中国科学院瞬态光学与光子学国家重点实验室资助项目(SKLST201106)
用不同能量密度的飞秒激光在不同辅助气压下对TiC陶瓷进行微孔加工,采用扫描电子显微镜(SEM)、微米X射线三维成像仪(Micro-CT)和X射线光电子能谱(XPS)对微孔的形貌和化学键进行了研究。结果表明,在不同能量密度下,微孔入口圆度均不小于9...
关键词：超快光学 飞秒激光 微孔加工 TiC陶瓷 能量密度 辅助气压 
飞秒激光微孔加工被引量：64
《中国激光》2013年第2期1-12,共12页夏博 姜澜 王素梅 闫雪亮 刘鹏军 
国家973计划(2011CB013000);国家自然科学基金(90923039;51025521)资助课题
飞秒激光具有超快、超强的特性,在微孔加工中有着独特的优势,尤其是针对高品质、大深径比的微孔加工有着不可替代的作用。介绍了超短脉冲激光微孔加工的优势以及研究意义,综述了近十几年来基于超短脉冲激光的微孔加工研究现状,并讨论了...
关键词：超快光学 超短脉冲激光 微孔加工 飞秒脉冲 脉冲序列 
深径比65:1的激光钻孔被引量：1
《中国激光》1982年第11期731-733,共3页兰伟天 田剑铃 方莉兰 陈予嘉 王新德 
本文对激光深微孔加工工艺作了一定的阐述。介绍了深径比为65:1的加工方法。足够的功率密度、用适当的焦距并确定最好象面、再聚焦方法等是激光深微孔加工的重要因素。
关键词：激光钻孔 激光 深微孔 孔径 深径比 微孔加工 
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