微米级

作品数：666被引量：1582H指数：15
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像素级滤光片的微米级装配工艺研究
《红外》2024年第12期34-39,共6页冯志攀 方志浩 刘建娇 付志凯 邢艳蕾 刘亚泽 林国画 王冠 
为满足红外探测器多通道精细分光的应用需求,像素级滤光片需精准地集成在红外探测器组件的冷头上,且滤光片X、Y、Z向装配精度需要控制在10μm以内,以降低不同通道间的杂散光干扰。基于320×256@30μm中波红外探测器进行像素级滤光片设...
关键词：红外探测器 像素级滤光片 封装工艺 
基于4.3 THz量子级联激光器的微米级无损厚度测量
《红外与毫米波学报》2024年第3期354-358,共5页李弘义 谭智勇 万文坚 曹俊诚 
the National Natural Science Foundation of China(61927813,62035014,62275258);Science and Technology Com⁃mission of Shanghai Municipal(21ZR1474600).
构建和描述了一种用于获取硅片厚度的零差检测系统。利用4.3-THz激光束的传输相变与机械旋转台控制的入射角之间的关系,可以使用标准残差法精确推导被测样品的厚度值。结果表明,样品的厚度拟合值与光学显微镜的精确测量结果仅相差2.5~3...
关键词：太赫兹 量子级联激光器 零差探测 无损检测 非接触测量 
基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺
《光学精密工程》2024年第1期43-52,共10页姚宇超 周锐 严星 王振忠 高娜 
国家自然科学基金资助项目(No.62175203);福建省科技计划资助项目(No.2020H0006);嘉庚创新实验室应用基础研究资助项目(No.RD2020050301)。
在MLA曝光工艺中,曝光点的数量庞大,通过高倍率显微镜配合人工目检来判定曝光质量耗时耗力,造成工艺成本偏高。为了解决这个问题,设计了一种便于检测的圆环形图案并引入深度学习中的目标检测Yolov5模型,一定程度上能够取代人工目检,完...
关键词：无掩膜光刻 微透镜阵列 曝光合格率 目标检测 
高频声表面波液滴雾化器设计与实验研究
《压电与声光》2023年第5期667-673,共7页舒霞云 陈赛 常雪峰 欧阳丽 
国家自然科学基金项目(51975501)。
针对现有的雾化装置粒径分散较广及难以生成大量微米级与亚微米级液滴等问题,设计并加工了一种基于声表面波的液滴雾化装置。首先,利用COMSOL仿真软件对声表面波器件的结构建模并进行压电仿真分析,模拟声表面波的振动传播,得到其谐振频...
关键词：声表面波 雾化 声流 有限元仿真 高频 微米级 
液态淀积法制备氧化铪薄膜
《光电子技术》2023年第3期212-217,共6页刘义锋 聂君扬 张恺馨 林畅 李敏 严群 孙捷 
福建省科技厅项目(2021HZ0114,2021J01583,2021L3004);中国福建光电信息科学与技术创新实验室项目(2021ZZ122)。
采用成本低廉、操作简单的液态淀积法成功制备了HfO_(2)薄膜,分析了液态淀积法制备氧化铪薄膜的反应机理,测试了薄膜的表面形貌、组成成分,以及光学特性和电学性能。结果表明:液态淀积法制备的氧化铪薄膜结构致密且连续,化学组分纯正;经...
关键词：液态淀积法 氧化铪薄膜 微米级发光二极管显示器 
基于微纳科研平台工艺验证的微米级标准CMOS关键工艺仿真
《电子与封装》2023年第7期64-70,共7页王峥杰 徐丽萍 凌天宇 瞿敏妮 权雪玲 乌李瑛 程秀兰 
基于微纳科研平台工艺验证的微米级CMOS标准工艺,采用TCAD仿真了场注入、沟道调节注入、衬底偏置电压以及接触金属类型对MOSFET器件性能的影响,进而对CMOS工艺中的器件关键工艺进行优化设计,为科研平台微纳工艺流片提供指导。仿真结果表...
关键词：CMOS工艺 半导体器件 TCAD仿真 
大气氛围低温Au-Au薄膜键合的表面活化处理研究
《光电子技术》2023年第1期42-47,共6页陈孔杰 聂君扬 罗灿琳 周雄图 孙捷 严群 吴朝兴 张永爱 
国家重点研发计划(2021YFB3600104);闽都创新实验室自主部署项目(2021ZZ111,2021ZZ130)。
提出了一种在大气氛围和低温条件下实现Au-Au薄膜的金属键合技术,研究了不同表面活化处理时间对Au-Au薄膜表面粗糙度、Au-Au薄膜的键合质量和可靠性的影响。实验结果表明,Au薄膜表面粗糙度随着表面活化处理时间的增加先减少后增大,当表...
关键词：薄膜键合 表面活化处理 粗糙度 剪切强度 微米级发光二极管器件 
基于微米级LED阵列的高度集成半导体信息显示被引量：2
《光电子技术》2022年第3期159-166,共8页严群 
提出信息显示设备不仅能够在显示屏的平面上展示信息,更重要的是能够在真实的三维空间中显示内容,使人与信息之间的自然交互成为可能。微米级LED显示屏有可能将我们带入一个真正身临其境和互动体验的新时代。响应时间快,体积小,应用环...
关键词：高度集成半导体信息显示 微米级发光显示 交互显示 
基于人工智能技术的光学超精密检测技术被引量：2
《激光杂志》2021年第2期156-160,共5页王琦 谭娟 
山东省高等学校科技计划项目(No.J09LG27)。
机械零件的光学超精密检测可提升零件的经济效益,为提升机械零件的光学超精密检测精度,研究基于人工智能技术的光学超精密检测技术,在机械零件的光学超精密检测中赋予人工智能机械学习模式,将机械记录的每次人为移动机械零件的动作和位...
关键词：人工智能 光学 超精密 检测技术 机械学习 干涉测量 共聚焦 微米级 
基于一体长方体分光补偿结构的干涉装置对微米级位移的测量
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2020年第10期132-133,共2页李典阳 
实现对微小变化量的精确测量对于生产生活和相关科研领域都具有极其重要的意义,现阶段较为常用的脉冲测距仪和相位法测距仪都无法满足生产生活的需要,因此,我们通过使用基于一体长方体分光补偿结构的干涉仪具有更高测量精度的特点设计...
关键词：分光补偿 干涉装置 微米级位移 
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