微气压传感器

作品数:6被引量:13H指数:2
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相关领域:自动化与计算机技术更多>>
相关作者:金仁成唐祯安张凤田高仁璟陈涛更多>>
相关机构:大连理工大学苏州霍曼洁净门业科技有限公司京东方科技集团股份有限公司重庆光电技术研究所更多>>
相关期刊:《半导体光电》《传感技术学报》《中国机械工程》《微纳电子技术》更多>>
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基于微气压传感器的室内行人高度估计方法
《半导体光电》2024年第2期313-318,共6页余豪 陈燕苹 邹梦强 彭慧 刘宇 王森 江永清 
国家自然科学基金项目(52175531,62305039);重庆市自然科学基金项目(CSTB2023NSCQ-MSX0568,CSTB2022NSCQ-LZX0050,CSTB2023NSCQ-LMX0028,CSTC2022YCJH-BGZXM0190)。
针对当前气压传感器解算高度存在误差随时间累积的问题,提出了一种基于微气压传感器的室内行人高度估计新方法。该方法结合微气压传感器的输出高度值,对多个相邻时间内的高度值进行合理性判断,并结合室内行人运动状态对高度变化进行约束...
关键词:微机电系统 微气压传感器 运动模式识别 高度修正 室内定位 
参数自调整模糊控制器在微气压传感器测控系统中的应用研究被引量:6
《传感技术学报》2008年第3期388-392,共5页金仁成 张五金 唐祯安 
国家自然科学基金重点项目资助(90607003)
为了对真空测控系统进行动态气压控制,提出了一种参数自调整模糊控制器的设计方法。该方法利用参数调整控制器在线自动修正基本模糊控制器的量化因子和比例因子,从而改善基本模糊控制器对任意设定气压的控制性能。此外,在控制算法基础...
关键词:气压控制 模糊控制 参数自调整 量化因子 比例因子 
微气压传感器测试系统的真空自动控制研究被引量:2
《微纳电子技术》2007年第7期457-460,共4页金仁成 陈涛 张五金 唐祯安 
国家自然科学基金重点项目(90607003)
针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态...
关键词:微气压传感器 真空度平衡 实时控制 模糊PID控制 
基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真被引量:5
《传感技术学报》2006年第05B期1871-1874,共4页陈涛 金仁成 张凤田 王宏斌 
国家自然科学基金重点项目资助(90207003)
针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态...
关键词:微气压传感器 模糊控制 模糊PID控制 MATLAB仿真 
基于SOC的微气压传感器研究
《中国机械工程》2005年第z1期155-157,共3页高仁璟 唐祯安 张凤田 王海霞 江胜峰 
国家自然科学基金资助重点项目(90207003)
研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感器的微气压测试系统.以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成.测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1~100kPa)内,对微小气压的响应具有良好...
关键词:微气压 测试系统 SOC AD590 
微加热板式半导体微气压传感器的测试
《传感器技术》2004年第8期55-57,共3页郭文泰 金仁成 王海霞 高仁璟 张凤田 余俊 于耀东 张天超 
国家自然科学基金重点项目(90207003)
组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析。
关键词:微加热板式半导体传感器 微气压 测试 
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