云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 微桥结构

微桥结构: 作品数：34被引量：52H指数：5; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：康晓旭蒋亚东王军苟君吴志明更多>>; 相关机构：电子科技大学上海集成电路研发中心北京北方高业科技有限公司中国科学院更多>>; 相关期刊：《科技资讯》《传感技术学报》《光学学报》《微纳电子技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划天津市自然科学基金更多>>

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非制冷红外焦平面高灵敏像元微桥设计: 《传感器与微系统》2009年第9期97-99,103,共4页范茂彦姜胜林谢甜甜张清峰张丽芳; 国家"973"计划资助项目(2004CB619300);教育部新世纪人才支持计划资助项目(NCET-04-0703); 介绍了硅微桥结构的传热物理模型及其理论计算方法。提出一种厚膜像元尺寸为360μm×360μm,具有"桌形"绝热框架支撑的微桥结构像元,用有限元分析证明其有较小的热导G,能获得很高的响应率。微桥结构在非制冷红外焦平面(UFPA)单元探测器...; 关键词：非制冷红外微桥结构像元焦平面探测器

微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究被引量：2: 《现代科学仪器》2004年第4期24-27,共4页周勇王明军杨春生陈吉安王莉丁桂甫张亚民高孝裕张泰华; 国家重点基础研究发展规划(973)项目-"集成微光机电系统研究"子项目(G1999033103)资助。; 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型...; 关键词：Ni膜微桥 MEMS技术力学性能

ANSYS在热释电薄膜红外探测器二维热分析中的应用被引量：6: 《传感技术学报》2004年第1期98-100,共3页张伟姚熹吴小清; 国家自然科学基金项目 (课题编号 6 0 3770 35 ) ;国家重点基础研究发展计划 (课题编号 2 0 0 2CB6 1330 5 ) ;中国-以色列国际合作项目资助; 根据热释电薄膜红外探测器的结构和实际的测试条件 ,利用有限元软件ANSYS建立了不同结构组成的热释电薄膜红外探测器的二维模型 ,并对其进行了热分析 ,得到了探测器内的温度场分布。分析了复合热释电薄膜红外探测器的绝热层对温度场的影...; 关键词：ANSYS 热释电薄膜红外探测器微桥结构有限元软件

微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究被引量：1: 《现代科学仪器》2003年第4期45-48,共4页周勇杨春生陈吉安丁桂甫王莉王明军张亚民张泰华; 国家重点基础研究发展规划 (973)项目-"集成微光机电系统研究"子项目 (G1 9990 331 0 3)资助; 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了铜 (Cu)膜微桥结构试样 ,应用陶瓷压条为承力单元 ,并与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合 ,解决了较宽Cu膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系 ,并结合微桥力学...; 关键词：Cu膜微桥 MEMS技术力学性能

微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究被引量：2: 《微细加工技术》2003年第3期66-71,共6页陈吉安杨春生周勇丁桂甫王莉王明军张亚民张泰华; 国家重点基础研究发展规划(973)资助项目(G1999033103); 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为...; 关键词：MEMS 镍膜微桥结构弹性模量残余应力纳米压痕仪

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