微悬臂梁

作品数：261被引量：520H指数：10
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基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法
《仪器仪表学报》2024年第6期256-265,共10页张世玉 赵聆喆 于枚可 赵美蓉 郑叶龙 
国家重点研发计划(2021YFC2202700)项目资助。
微悬臂梁刚度的标定在工业和学术研究中有重要的意义。传统微悬臂梁标定方法存在粘附摩擦、接触磨损等缺点。为了有效解决传统刚度标定中接触摩擦的难题,本文提出一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法。该方法将静电力作为标...
关键词：微悬臂梁 刚度标定 静电力 不确定度 
基于微悬臂梁的微量液体浓度定量检测被引量：1
《仪器仪表学报》2021年第2期26-32,共7页章泽铵 金涛 
国家重点研发计划(2020YFB2007501)项目资助
采用双材料微悬臂梁结构,实现了一种对微量液体浓度的定量检测方法。该方法是基于双材料微悬臂梁的温度敏感性,当微定量液体分析物吸收光热光谱特征波长的光时,温度发生变化,悬臂梁相应会发生弯曲,通过光杠杆法测量弯曲量,从而实现微悬...
关键词：光热光谱 双材料微悬臂梁 微量液体 浓度检测 
微梁模态分析的声激励光学相干振动层析系统被引量：3
《仪器仪表学报》2018年第12期47-54,共8页周宁 钟舜聪 张秋坤 钟剑锋 林杰文 
国家自然科学基金(51675103);机械系统与振动国家重点实验室开放课题(MSV-2018-07);上海市自然科学基金(18ZR1414200);福建省质量技术监督局科技计划(FJQI2012028)项目资助.
提出了基于声音激励和频域光学相干层析的声激励频域光学相干振动层析(AE-OCVT)系统,并研究其在微型悬臂梁非接触式振动检测和模态分析中的应用。AE-OCVT系统利用声波信号激励微梁,再对微梁受到声波激励产生的振动进行测量,可以实现微...
关键词：声激励 光学相干层析 微悬臂梁 误差校正 非接触振动检测 
基于静电力的可溯源微悬臂梁刚度标定方法被引量：2
《仪器仪表学报》2017年第6期1466-1473,共8页韩亚倩 赵美蓉 刘明 孙培元 宋乐 
天津市自然科学基金(17JCYBJC19000);天津大学自主创新基金(2015XRG-0031;2017XZC-0051)项目资助
许多研究机构都建立了微纳力值测量系统,并达到了非常高的测量精度。但是,对微纳力值的传递却很少研究。采用无源悬臂梁作为微纳力值传递标准,提出基于静电力原理的"类参考梁法"悬臂梁刚度测量方法。该方法可准确且便捷地测量悬臂梁刚度...
关键词：微纳力值 微悬臂梁 刚度标定 不确定度 
基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究被引量：6
《仪器仪表学报》2015年第8期1892-1900,共9页佘东生 杨一柳 魏泽飞 王晓东 王立鼎 
国家自然科学基金(51305191)项目资助
为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数，本文提出了一种以高压电容空气放电为手段，以激波冲击为特征的底座激励方法。阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和具体实现方式，并分析了放电电容、回路电阻、回路电感等...
关键词：MEMS动态特性测试 激波 底座激励 微悬臂梁 高温环境 
T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究被引量：2
《仪器仪表学报》2015年第7期1470-1478,共9页佘东生 杨一柳 李琨 王晓东 王立鼎 
国家自然科学基金(51305191)项目资助
为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的温度系数模型。随后搭建了带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,采用OFV534激光多普勒测...
关键词：MEMS测试 T型微悬臂梁 高温环境 固有频率温度系数 底座激励 
基于弯曲法的AFM微悬臂梁弹性常数标定技术被引量：10
《仪器仪表学报》2012年第11期2446-2453,共8页吴森 陈庆超 张超 傅星 胡晓东 胡小唐 
国家自然科学基金(61072013;51075297)资助
原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)在微纳米尺度力学测量领域有着广泛应用,其微悬臂梁探针的弹性常数是直接影响测量结果准确性的关键因素之一。弯曲法是标定微悬臂梁弹性常数的一类重要方法,基于弯曲标定原理提出了一种新的...
关键词：原子力显微镜 悬臂梁 弹性常数 标定 天平 光杠杆 
高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究被引量：6
《仪器仪表学报》2010年第11期2494-2499,共6页佘东生 王晓东 张习文 王立鼎 
国家自然科学基金重点项目(50535030);辽宁省自然科学基金(20062187)资助项目
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用...
关键词：MEMS测试 动态特性的测试 高温环境 微悬臂梁 激励装置 
多晶硅薄膜离面疲劳特性研究被引量：2
《仪器仪表学报》2010年第4期800-805,共6页陈龙龙 宋竞 唐洁影 
国家863计划(2007AA04Z320)资助项目
多晶硅薄膜材料为微电子机械系统（MEMS）器件最重要的材料之一，对其疲劳特性的研究是现阶段失效分析研究的热点和重点。利用表面加工的多晶硅矩形微悬臂梁结构对该问题展开实验研究。通过干法刻蚀在微悬臂梁根部制作纵向应力集中区，...
关键词：微电子机械系统 微悬臂梁 疲劳 离面 粗糙表面 
纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁的弹性模量被引量：8
《仪器仪表学报》2001年第2期186-189,共4页丁建宁 孟永钢 温诗铸 
教育部博士点基金资助项目
利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验来测量其力学特性是一种简便而有效的方法 ,具有很高的载荷分辨率 ,可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变。运用该方法在研究微悬臂梁的弯曲形变过程中 ,必须考虑压头在微悬臂梁上的压入以及微悬臂沿...
关键词：微型机械 薄膜 多晶硅 弹性模量 纳米硬度计 微悬臂梁 
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