对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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α″- Fe_(16)N_2薄膜结构热稳定性的研究
《信息记录材料》2000年第1期9-11,共3页许英华 白海力 侯登录 王怡 姜恩永 
α″- Fe16N2的结构及其高饱和磁化强度是磁性材料研究中最有争议的问题。本文用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe16N2薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜 (TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对其结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分...
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe16N2薄膜 热稳定性 
对向靶溅射参数对CoCr膜性质的影响及CoCr软盘的研究
《信息记录材料》1989年第2期27-30,63,共5页姜恩永 单慧波 张西祥 李金锷 
本文系统地研究了对向靶溅射参数P_Ar、I_s、T_s、V_b对CoCr膜结构和磁性的影响。结果发现较低的P_Ar和适当的V_b对提高CoCr膜C轴的取向度有利,T_s、I_s对CoCr的磁性有很大影响。在此基础上研制出了CoCr软磁盘。
关键词：溅射法 COCR 原子数 取向度 垂直磁记录 负偏压 膜结构 磁控溅射 性能测试结果 饱和磁化强度 
对向靶溅射参数对CoCr膜性质的影响
《信息记录材料》1989年第1期14-16,共3页姜恩永 单慧波 张西祥 张丙辰 
本文系统地研究了对向靶溅射参数对垂直磁记录介质 CoCr 膜结构和磁性的影响。一、引言近年来,随着垂直磁记录介质研究的发展,关于二极溅射、磁控溅射和射频溅射的溅射条件对 CoCr 膜性质的影响已有许多研究,但新型对向靶溅射仪溅射条件...
关键词：溅射现象 COCR 垂直磁记录 射频溅射 负偏压 基板 膜结构 原子数 取向度 氢气压力 
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