纳米多层薄膜

作品数：20被引量：84H指数：6
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相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：王立平薛群基曹保胜李戈扬王浪平更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院河北大学上海交通大学更多>>
相关期刊：《上海交通大学学报》《有色金属材料与工程》《湘潭大学学报（自然科学版）》《摩擦学学报（中英文）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜结构设计及其宽温域摩擦性能研究被引量：1
《表面技术》2024年第11期80-89,170,共11页高臻荣 候果源 任思明 
国家自然科学基金(52375220)。
目的探究环境温度对MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜摩擦磨损性能的影响,探讨并揭示薄膜在高温环境下的损伤机理。方法采用非平衡磁控溅射技术制备MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜,评价Ti、WC双功能组元以及纳米多层结构设计对薄膜表面形貌和微观...
关键词：磁控溅射 MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜 环境适应性 高温润滑性能 摩擦磨损 
基体偏压对磁控溅射制备CrAlN纳米多层薄膜微观结构和力学性能的影响被引量：6
《机械工程材料》2021年第3期41-45,共5页王宇星 张侠 
浙江省自然科学基金资助项目(Y15E050060)。
采用磁控溅射技术在不同基体偏压(-60,-70,-80,-90 V)下制备了CrAlN纳米多层薄膜,研究了基体偏压对薄膜微观结构和力学性能的影响。结果表明:随着基体偏压绝对值增大,CrAlN纳米多层薄膜中的氮含量增加,物相组成不变,择优取向由CrN(111)...
关键词：CrAlN纳米多层薄膜 磁控溅射 基体偏压 微观结构 力学性能 
CrAlYN纳米多层薄膜的微观结构和抗高温氧化性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2017年第11期1075-1079,共5页王宇星 楼白杨 巫少龙 
浙江省教育厅科研项目资助(Y201738020)
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积不同Y含量的Cr Al YN纳米多层薄膜,并在静态空气中进行1000℃的高温氧化实验。透射电子显微镜、扫描电镜、X射线衍射、能量色散谱、纳米压痕和划痕实验等研究结果表明:Cr Al YN...
关键词：CrAlYN纳米多层薄膜 磁控溅射 微观结构 高温氧化 
Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响被引量：10
《金属学报》2016年第6期727-733,共7页楼白杨 王宇星 
浙江省自然科学基金资助项目Y15E050060~~
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积多元CrMoAlN纳米多层薄膜.利用EDS,SEM,XRD,XPS,纳米压痕仪和销盘磨损试验仪研究Mo含量对CrMoAlN薄膜成分、表面和截面形貌、相结构、化学价态、显微硬度和摩擦性能的影响.结果...
关键词：CrMoAlN纳米多层薄膜 磁控溅射 微观结构 摩擦磨损性能 
Al/Ni和Al/Ti纳米多层薄膜制备与表征被引量：5
《含能材料》2013年第6期749-753,共5页李东乐 朱朋 付帅 沈瑞琪 叶迎华 华天丽 
国家自然科学基金资助(51201091)
用磁控溅射法制备了Al/Ni、Al/Ti纳米多层薄膜。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和X-射线衍射仪(XRD)对其进行了结构表征和成分分析。用差示扫描量热法(DSC)测定了纳米多层薄膜的反应放热量。结果表明:工作压力为0.4 ...
关键词：军事化学与烟火技术 AL Ni纳米多层薄膜 AL Ti纳米多层薄膜 磁控溅射 结构表征 热分析 
基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响
《摩擦学学报》2013年第1期29-35,共7页胡明 高晓明 张立平 伏彦龙 杨军 翁立军 刘维民 
采用中频磁控溅射技术在3种偏压条件下(0、-80、-300V)于AISI 440C钢及单晶Si(100)基体表面制备了ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜.通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了各纳米多层薄膜微观组织结构,并通过纳米压入仪与真空球-盘摩擦试...
关键词：ZRN α-SiNx纳米多层薄膜 基体偏压 微观结构 机械及摩擦学性能 
Cr/Ag纳米多层薄膜膜-基结合强度及摩擦学性能研究被引量：4
《摩擦学学报》2012年第6期544-549,共6页胡明 张立平 高晓明 伏彦龙 杨军 翁立军 
采用中频磁控溅射技术在AISI 440C钢表面制备了不同调制周期的Cr/Ag纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)及高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了纳米多层薄膜的微观组织结构,通过划痕试验机与真空球-盘摩擦试验机分别测试了纳米多层薄...
关键词：磁控溅射 CR Ag纳米多层薄膜 膜-基结合强度 摩擦学性能 
TiN/AlN纳米多层膜的研究被引量：15
《材料工程》1999年第11期6-9,13,共5页李戈扬 施晓蓉 吴亮 许俊华 戎咏华 张惠娟 
采用反应溅射法制备了ＴｉＮ／ＡｌＮ 纳米多层膜， 并通过ＸＲＤ， ＨＲＥＭ 和显微硬度计对多层膜的调制结构和力学性能进行了研究。结果表明： ＴｉＮ／ＡｌＮ 纳米多层膜有较好的调制结构。小调制周期时， ＡｌＮ 调制层以ＦＣＣ ...
关键词：纳米多层薄膜 反应溅射 调制结构 薄膜 
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