纳秒激光

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红外纳秒激光工艺参数对硅晶圆单次扫描烧蚀切割质量的影响
《佛山科学技术学院学报(自然科学版)》2025年第2期55-60,共6页王锐 巫海文 何俊杉 陈国杰 
粤港澳智能微纳光电技术联合实验室项目(2020B1212030010);标准光组件智能检测实验室建设项目(2016B01011304);广东省半导体微显示企业重点实验室项目(2020B121202003)。
采用1064nm红外纳秒激光对<111>硅晶圆进行单次扫描烧蚀切割实验,研究了激光的脉冲重复频率和扫描速度对硅晶圆表面及断裂面形貌、烧蚀区宽度、热影响区宽度和切割深度的影响。研究结果表明,重复频率和扫描速度对单次扫描烧蚀切割质量...
关键词：纳秒激光 硅晶圆 单次扫描切割 热影响区宽度 
纳秒激光去除铝合金表面漆层的工艺研究
《激光技术》2025年第2期307-312,共6页车亚龙 华希俊 王康 孙义皓 孙瑜 华逸舟 汤发全 
国家自然科学基金资助项目(51975252)。
为了提高激光除漆的质量和效率,对2024铝合金表面喷涂丙烯酸漆层并进行了清洗实验。采用正交试验法对除漆后试样表面的形貌、元素能谱及粗糙度进行了观察和分析,研究了各激光参数对除漆效果的影响程度,并通过验证实验对比得出最佳工艺...
关键词：激光技术 激光清洗 正交试验 工艺优化 表面形貌 
不锈钢火焰筒气膜孔的纳秒激光高质量加工
《河南科学》2025年第2期185-192,共8页畅仕超 杨继超 孙超伟 陈龙 胡安博 贾天卿 
国家自然科学基金面上项目(12074123);河南省科学院人才启动项目(241823009)。
建立了一套基于纳秒激光的加工系统,进行航空发动机火焰筒的气膜孔加工。介绍了圆形通孔和异形孔的加工方法,并在平板上开展了加工实验。研究了喷嘴至工件距离、焦点位置对加工质量的影响,以及激光脉冲宽度、脉冲能量、重复频率、激光...
关键词：航空发动机 气膜孔 纳秒激光 五轴精密机床 
钻头滑动轴承表面圆凹坑织构的纳秒激光加工关键参数研究
《江汉石油职工大学学报》2025年第1期26-29,共4页刘剑秋 
牙轮钻头滑动轴承常因摩擦而产生大量热量,在复杂工况下难以散热进而引起磨损失效。经验证:合理布置表面织构能够有效降低轴承摩擦、提高轴承寿命。通过采用单因素法对纳秒脉冲激光相关加工参数与圆形凹坑织构的关系进行试验,明确了圆...
关键词：牙轮钻头 轴承 表面织构 圆形凹坑 激光加工 规律研究 
高峰值功率高重复频率纳秒激光板条放大器
《中国激光》2025年第2期55-62,共8页董雪岩 王浩竹 刘凯 寇扬 筵兴伟 刘自磊 李辛垒 杨培将 许彦 杨凤图 张成功 
山东省重点研发计划(2023CXPT028)。
介绍了一种高峰值功率和高重复频率的纳秒激光板条放大器。该放大器采用基于新型焊接工艺的混合冷却板条模块结构设计,同时结合了一种泵浦光角度可调的L形泵浦耦合结构,从而显著降低了板条晶体内部的温度梯度,有效抑制了晶体厚度方向上...
关键词：高峰值功率 高重复频率 纳秒激光 多通放大器 板条放大器 
纳秒激光复合离子束刻蚀技术的CVD金刚石抛光研究
《激光杂志》2025年第1期214-221,共8页冯昱森 赵智炎 于颜豪 徐颖 徐地华 李爱武 
广东省基础与应用基础研究基金(No.2019B1515120081)。
高表面平整度的CVD金刚石在微刀具、光学窗口、半导体等领域具有非常广阔的应用前景。然而,由于CVD金刚石具有的高硬度、高耐磨性和化学惰性等特性,使得CVD金刚石的高精度抛光成为一个巨大的挑战。针对金刚石抛光难度问题,使用纳秒激光...
关键词：激光光学 纳秒激光抛光 离子束抛光 CVD金刚石 粗糙度 
金刚石涂层表面纳秒激光加工直槽微织构工艺研究
《机械研究与应用》2024年第6期1-4,共4页谢佳平 丁帅 付依依 邓晓帆 
天津市研究生科研创新项目:面向触觉感知的柔性电阻式传感器开发(编号:2022SKYZ016)。
为探究紫外纳秒激光在金刚石涂层表面加工微织构时对织构尺寸的影响规律,并选取出能够在金刚石涂层表面加工出较好质量微织构的激光加工参数,文章基于单因素实验,利用纳秒激光设备在金刚石涂层表面进行不同加工功率、加工速度和加工次...
关键词：纳秒激光 金刚石涂层 微织构 
纳秒/皮秒激光加工CaSiO_(3) LTCC的可行性对比研究
《工具技术》2024年第12期10-17,共8页谢明君 韦佳伟 肖何 赵俊熠 陈妮 
国家重点研发计划(2020YFA0709700)。
围绕硅酸钙低温共烧陶瓷叠层基板难加工的问题,对比纳秒和皮秒激光加工对CaSiO_(3) LTCC的影响、激光作用后的成分以及不同激光参数下CaSiO_(3) LTCC的烧蚀特性,通过硬度变化评价两种激光加工的可行性。结果表明:两种激光加工后的区域...
关键词：纳秒激光 皮秒激光 CaSiO_(3)LTCC 粗糙度 维氏硬度 
纳秒激光对磷酸二氢钾晶体的辐照效应及其损伤机理研究
《原子核物理评论》2024年第4期1050-1057,共8页郜洋 陈元攀 周鑫 王玉冉 马婷婷 张丽卿 周磊 郝辰春 邱荣 
国家自然科学基金项目(11675231);四川省重点研发项目(2022YFG0263);西南科技大学引进人才项目(21zx7109,21zx7110)。
借助场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和红外光谱(IR)微区分析技术,研究KDP晶体被不同波长的纳秒激光、以不同能量密度辐照后的表面形貌、微结构、化学键振动以及晶体光学性能随激光能量密度的变化规律。SEM结果表明,随着激光辐照能量密度...
关键词：纳秒激光辐照 KDP晶体 光学性能 微结构 化学键振动 
水下纳秒激光制备柔性温度传感器电极
《电子元件与材料》2024年第12期1463-1467,共5页姜涛 赵娜 
吉林省教育厅项目(JJKH20220594KJ);吉林省科技厅项目(20240304123SF)。
针对传统MEMS工艺制备柔性温度传感器电极工艺流程复杂、制造成本高等问题,提出了水下纳秒激光加工柔性温度传感器电极的方法。首先,设计了一种线宽为600μm的柔性温度传感器电极。其次,采用水下纳秒激光加工方法实现10μm镍薄膜的切割...
关键词：柔性温度传感器 纳秒激光 电极 镍薄膜 加工精度 
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