刻蚀液

作品数：33被引量：43H指数：4
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缓冲氧化物刻蚀液在沟槽结构湿法刻蚀工艺中的应用
《化工生产与技术》2024年第6期9-12,33,共5页张学良 贺辉龙 石加明 李军 
针对氧化物刻蚀液(BOE)在沟槽结构湿法刻蚀工艺中的应用,考察单片清洗工艺、槽式清洗工艺和烧杯实验3种湿法刻蚀工艺的影响因素,如卡盘转速、化学品流量、预冲洗和表面活性剂使用。结果表明,烧杯实验中,表面活性剂的添加使刻蚀速率明显...
关键词：缓冲氧化物刻蚀液 湿法刻蚀 沟槽结构 
显示面板用新型电子级混合酸蚀刻液的研发及产业化应用
《山东化工》2024年第4期43-44,47,共3页赵宝勤 王雪艳 乔佳慧 刘芳 赵祥娟 孙永波 
目前,随着平板显示向高世代发展,对产品的优良率、稳定性、分辨率、反应时间等要求越来越高,相应对高世代线用湿电子化学品(尤其是电子级混合酸蚀刻液)的性能要求也越来越高。针对这一现状,我科研团队经过刻苦攻关,研发了新一代新型电...
关键词：显示面板 混合酸 刻蚀液 优良率 分辨率 
废磷酸系刻蚀液制备电池级磷酸铁被引量：2
《化工环保》2023年第4期484-491,共8页贾婧 王秋帏 王小赫 胡馨尹 吴旭 
以废磷酸系刻蚀液为原料、铁粉为铁源、H_(2)O_(2)为氧化剂,采用氧化沉淀法一步合成结晶态FePO4。考察了铁磷摩尔比、反应温度、H_(2)O_(2)投加量、pH、煅烧温度对FePO4制备的影响,利用XRD、SEM等手段表征了FePO4的形貌和晶体结构。实...
关键词：磷酸铁 磷酸系刻蚀液 锂离子电池 沉淀 
金属氧化物TFT工艺中铜/钛蚀刻液浓度控制体系研究被引量：1
《光电子技术》2023年第1期48-52,共5页赵辉 
深入分析了铜钛刻蚀液的刻蚀机理,并对刻蚀液浓度的变化进行实验分析。在此基础上,通过实验完成了铜钛刻蚀液浓度变化模型曲线的研发,并提出了进行浓度控制的方法,实现了铜钛刻蚀液的稳定应用并极大地提高刻蚀液的使用寿命。研究为相关...
关键词：金属氧化物 湿法刻蚀 铜/钛刻蚀液 浓度控制 
废铝蚀刻液中硝酸、磷酸和醋酸浓度的电位滴定法连续测定研究被引量：1
《再生资源与循环经济》2023年第1期35-38,共4页陈荔英 许椐洋 余丰毅 侯海丽 王志巍 陈嘉宾 黄丽英 曾广志 
福建省引导性科技项目(2020Y0071)。
废铝刻蚀液是由硝酸、磷酸和醋酸组成的一种混酸,把握混酸中各酸的含量是该工业废液回收利用的重要前提。以乙醇/乙二醇共混物为溶剂,以氢氧化钠/乙醇溶液为滴定剂,采用一步法连续电位滴定对铝蚀刻液混酸中各单酸浓度进行分析,优化了滴...
关键词：废铝刻蚀液 电位滴定 硝酸 磷酸 醋酸 
湿法刻蚀液配比对“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池电性能影响的研究
《太阳能》2022年第7期53-58,共6页张进臣 张建军 张永 严金梅 朱少杰 
在太阳电池制备过程中,刻蚀工序作为扩散工序后去除硅片p-n结的重要工序,除了具有将p区与n区断开防止正负极短路的作用外,还会对硅片背面绒面的状态产生影响,尤其是此工序后续还会影响“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池的电性能。湿法刻蚀...
关键词：单晶硅太阳电池 湿法刻蚀 PERC 背面抛光 反射率 光电转换效率 
湿电子化学品之刻蚀液领域技术发展现状被引量：3
《化工管理》2022年第16期95-98,共4页秦圆圆 
刻蚀液是功能性湿电子化学品中的一种,在集成电路、显示面板、太阳能电池等制程中均涉及,文章从刻蚀液专利申请量、申请人分布等方面分析了刻蚀液全球专利申请情况,并且基于刻蚀液的研发角度,从显示面板、集成电路、太阳能电池三个方面...
关键词：刻蚀液 湿电子化学品 集成电路 显示面板 太阳能电池 
实验探究情境中的“铁盐和亚铁盐”教学
《中学化学教学参考》2021年第23期28-31,共4页尹红 陈家晓 
在"铁盐和亚铁盐"的教学中,以电路板制作为真实情境引入,引导学生从价态观的角度思考Fe3+与Fe2+之间如何相互转化,进而进入如何再生刻蚀液的探究,电路板刻蚀这一情境由始至终贯穿在学生对知识的自主构建中,学生既能体会到实验对认识和...
关键词：实验探究情境 铁盐与亚铁盐 刻蚀液回收 
铝刻蚀液磷酸浓度变化及TRIZ解决方案被引量：1
《创新创业理论研究与实践》2021年第22期4-11,15,共9页刘丹 刘毅 陈启超 黄中浩 陈国良 熊永 吴旭 管飞 郭瑞乾 林鸿涛 方亮 
铝刻蚀液由硝酸、醋酸、磷酸混合组成,各酸液浓度变化会对刻蚀产生影响。量产过程中,设备对硝酸和醋酸进行单酸补给,保持其浓度稳定。但磷酸不补给,其浓度会逐渐下降。该文结合铝刻蚀产线,研究了单酸补给开启与关闭情况下磷酸浓度对刻...
关键词：铝刻蚀液 磷酸浓度 刻蚀能力 TRIZ 
缓冲氧化物刻蚀液(BOE)废液处理技术探究
《中国科技期刊数据库 工业A》2021年第7期411-412,共2页修德勇 张言 王东博 
针对于BOE废液中F-含量高、NH3-N/TN含量高、处理难度大等问题,采取将BOE废液常温常压下进行酸碱中和,并加入絮凝剂进行絮凝沉降,通过滤压技术进行固-液分离,再经三效蒸发技术,进行合理化处理填埋。
关键词：BOE 氢氧化钙 絮凝沉降 三效蒸发 填埋 
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