蓝宝石晶片

作品数：44被引量：152H指数：6
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工艺参数对浸没式直流介电泳辅助化学机械抛光蓝宝石晶片的影响
《表面技术》2024年第18期144-155,共12页黄展亮 柏显亭 潘继生 阎秋生 
国家重点研发计划(2023YFE0204400);国家自然科学基金(52075102);广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515010922)。
目的为了实现蓝宝石晶片的高效超光滑表面加工,提出浸没式直流介电泳辅助化学机械抛光方法,研究该方法对蓝宝石晶片的加工适应性。方法搭建了浸没式直流介电泳辅助化学机械抛光系统,通过单因素实验探究接入电压、工件及抛光盘转速、偏...
关键词：介电泳效应 化学机械抛光 蓝宝石晶片 工艺参数 抛光垫 有效磨料数 加工效果 
临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
《火箭推进》2024年第3期118-123,共6页张雨彤 江毅 杨水旺 张大有 
国家自然科学基金(U20B2057)。
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-P...
关键词：光纤压力传感器 非本征法布里-珀罗干涉仪 蓝宝石晶片 绝对压力测量 
面向蓝宝石加工的纹理化研磨盘设计及试验研究
《航空制造技术》2023年第21期95-101,共7页万林林 郭晋伟 刘伟 张先洋 冉晓茹 
湖南省自然科学基金(2020JJ4309);湖南省教育厅科学研究重点项目(19A163);湖南省高新技术产业科技创新引领计划项目(2022GK4025)。
蓝宝石晶片在研磨加工中会受到诸多因素的影响,为了提高蓝宝石研磨加工后的表面质量,本文从研磨液体积分布及流动均匀性出发,设计了研磨盘表面纹理。采用有限元计算对所设计的研磨盘进行流场模拟,同时对研磨盘表面应力分布进行了有限元...
关键词：蓝宝石晶片 研磨盘 纹理设计 有限元方法 表面质量 
A向蓝宝石晶片化学机械抛光研究
《电镀与涂饰》2023年第17期75-82,共8页陈国美 陈凤 倪自丰 白亚雯 
国家自然科学基金(51305166,51675232);江苏省高校自然科学研究项目(19KJB460023);江苏省高校青蓝工程(2021);无锡商业职业技术学院超精密加工与智能制造科研创新团队(XTD202107);无锡商业职业技术学院智能制造与服务协同创新中心科研平台(KYPT20309);无锡商业职业技术学院机器视觉工程技术中心科研平台(KYPT21304);无锡市软课题项目(KX-23-C116)。
采用正交试验和单因素实验,研究了磨粒种类(包括SiO_(2)、Al_(2)O_(3)和CeO_(2))和抛光工艺参数(包括抛光压力、抛光盘转速和抛光液流量)对A向蓝宝石(1120)化学机械抛光(CMP)效果的影响。通过超精密分析天平计算材料去除率,原子力显微...
关键词：蓝宝石晶片 化学机械抛光 磨粒 正交试验 材料去除率 表面粗糙度 
飞秒激光微加工蓝宝石晶片光纤压力传感器被引量：4
《光学学报》2023年第15期80-87,共8页江毅 张雨彤 邓辉 
国家自然科学基金(U20B2057)。
提出了一种高温大量程的蓝宝石法布里-珀罗(F-P)干涉仪压力传感器。传感器由三层蓝宝石晶片直接键合而成,包括蓝宝石衬底、带通孔的蓝宝石晶片和感压蓝宝石晶片。飞秒激光用于在蓝宝石晶片的中心刻蚀通孔,并粗糙化感压蓝宝石晶片的外表...
关键词：光纤光学 光纤压力传感器 非本征法布里-珀罗干涉仪 蓝宝石晶片 飞秒激光微加工 大压力量程 
蓝宝石晶片刷洗机设计
《现代制造技术与装备》2022年第10期79-81,共3页房莹莹 闫向阳 李学星 艾军 高立成 
江苏省教育厅立项项目——江苏高等学校优秀科技创新团队“智能制造装备设计及工程应用”(苏教科函[2019]7号)。
蓝宝石具有良好的化学稳定性能、力学机械性能、透光性好、电气绝缘性好、耐磨以及硬度大等良好特性,被广泛应用于医疗设备、航天设备以及国防军事等领域。随着我国科技的快速发展,人们对于蓝宝石晶片的表面加工质量要求也越来越高,因...
关键词：蓝宝石 刷洗机 晶片 
线切蓝宝石晶片面形质量评价方法的试验研究
《中国机械工程》2022年第17期2023-2028,共6页王兰青 黄辉 崔长彩 
国家自然科学基金(51375179);国家自然科学基金海峡联合基金(U1805251);教育部创新团队发展计划(IRT_17R41)。
多线切割广泛应用于硬脆材料的切片加工,线切后晶片的面形质量会对后续研磨抛光加工工艺产生较大影响。提出了一种针对线切片面形质量的评价指标:线切片最小加工余量(MMA);设计出MMA的测量原理,并给出具体实施方法;分析了不同工艺参数...
关键词：多线切割 晶片 面形质量 最小加工余量 
蓝宝石晶片加工技术现状与发展趋势被引量：2
《应用能源技术》2022年第8期43-47,共5页莫东鸣 
重庆市高等教育教学改革项目(203699);重庆市基础研究与前沿探索专项项目(cstc2018-jcyjAX0597)。
蓝宝石晶体具有强度高、耐高温、耐化学腐蚀、抗磨损等优良性能,在半导体照明、国防军工、航天航空、智能穿戴、电子产品等领域得到广泛的应用。本文对实现蓝宝石高效低损伤的加工技术进行了总结和分析,并指出蓝宝石晶体加工过程中存在...
关键词：蓝宝石晶片 加工技术 切割 研磨 抛光 
蓝宝石晶片飞秒激光辅助集群磁流变抛光试验研究
《航空制造技术》2022年第8期76-83,共8页赖科铭 阎秋生 谢小柱 彭清发 赵朋 
国家自然科学基金(U1801259)。
为了实现蓝宝石衬底材料高效高品质超光滑平坦化加工的目的,提出一种先利用飞秒激光对蓝宝石晶片表面材料进行预处理改性后再集群磁流变抛光新工艺,并且研究了飞秒激光扫描速度和集群磁流变抛光时间对激光预处理蓝宝石晶片表面抛光材料...
关键词：蓝宝石 飞秒激光 集群磁流变 抛光效率 非晶化 微晶化 
晶体取向对蓝宝石晶片抛光加工的影响研究被引量：1
《表面技术》2021年第11期339-345,353,共8页曹霖霖 郭路广 袁巨龙 张翔 吕冰海 马毅 杭伟 赵萍 
国家自然科学基金(51575492,51775508,51805484);中国博士后科学基金(2017M621966)。
目的对比分析不同晶向蓝宝石晶圆抛光结果,优化加工参数,探究晶体取向对抛光结果的影响规律。方法选取A、C面蓝宝石晶片(50.8 mm)为研究对象,采用控制变量法,分别以加工载荷(9.87、14.81、19.75 kPa)和抛光盘转速(20、40、60、80 r/min...
关键词：晶体取向 蓝宝石 抛光 表面粗糙度 材料去除率 
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