类金刚石碳膜

作品数：149被引量：379H指数：10
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氮化硅表面DLC膜压痕过程的分子动力学模拟被引量：2
《润滑与密封》2012年第9期10-14,27,共6页李军 古乐 郑德志 
国家自然科学基金项目(NSFC50875058)
对β-Si3N4基体表面DLC薄膜压痕过程进行分子动力学模拟。压入过程模拟采用刚性球形压头与Tersoff势函数,考虑薄膜密度、膜厚、压入深度和基体属性对压痕过程的影响。模拟结果显示:薄膜抗压变形能力随着薄膜密度增加而变强,随着薄膜厚...
关键词：类金刚石碳膜 氮化硅 纳米压痕 分子动力学模拟 
偏压对掺钨含氢类金刚石碳膜摩擦学性能的影响
《润滑与密封》2011年第8期23-26,30,共5页杨拉毛草 周晖 郑军 桑瑞鹏 万志华 
利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅片及9Cr18基体表面制备不同偏压下的掺钨含氢类金刚石碳膜。采用Ra-man光谱分析薄膜结构,采用纳米硬度测试仪和纳米划痕仪研究薄膜的纳米硬度、弹性模量和膜基附着力,在球-盘摩擦试验机上测试薄膜在大气...
关键词：非平衡磁控溅射 金刚石碳膜 力学性能 摩擦学性能 
ECR-CVD制备类金刚石碳膜的正交实验法研究被引量：1
《润滑与密封》2011年第3期44-48,共5页谷坤明 王超 毛斐 虞烈 汤皎宁 
国家高技术研究发展计划项目(2007AA050501);广东省科技计划项目(2009B010900035);深圳市科技计划项目(JC200903130309A)
采用系统的正交实验法对ECR-CVD法沉积类金刚石碳膜(DLC)的优化工艺进行研究,并分析不同工艺参数对DLC膜性能的影响。共选择基片温度、H2流量、微波功率、直流偏压、脉冲偏压以及脉冲偏压占空比6个参数建立起6因素5水平的正交表,分别以...
关键词：气相沉积 类金刚石碳膜 正交实验 摩擦磨损性能 
非平衡线圈电流对掺钨含氢类金刚石碳膜力学和摩擦学性能的影响被引量：1
《润滑与密封》2010年第11期86-89,共4页杨拉毛草 周晖 郑军 桑瑞鹏 万志华 
利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅片及9Cr18不锈钢基体表面制备不同非平衡线圈电流下的掺钨含氢类金刚石碳膜。采用Raman光谱以及红外光谱分析薄膜结构,采用纳米硬度测试仪和纳米划痕仪研究薄膜的纳米硬度和膜基附着力,在球-盘摩擦磨损...
关键词：非平衡磁控溅射 金刚石碳膜 力学性能 摩擦学性能 
中频磁控溅射法制备厚类金刚石碳膜被引量：2
《润滑与密封》2006年第10期25-28,共4页于翔 刘阳 王成彪 于德洋 
国家自然科学基金项目(50475057);清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项目(SKLT04-02);中国地质大学(北京)科学钻探国家专业实验室基金项目(200502)
采用中频对靶磁控法在M2高速钢基片上合成了厚达6μm的含铬类金刚石碳(DLC)薄膜,初步考察了中频磁控溅射工艺参数、DLC薄膜的多层梯度结构及薄膜力学和摩擦性能间的关系。结果表明,薄膜表面平滑,具有致密的多层梯度结构,在2.45 N载荷下...
关键词：含铬类金刚石碳膜 梯度多层结构 中频对靶磁控溅射 
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