郑军

作品数:9被引量:25H指数:4
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供职机构:中国科学院兰州物理研究所更多>>
发文主题:非平衡磁控溅射MOS摩擦学性能沉积温度性能研究更多>>
发文领域:机械工程金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊:《摩擦学学报(中英文)》《真空科学与技术学报》《润滑与密封》更多>>
所获基金:航天支撑技术基金国防科技工业民用专项科研技术研究项目更多>>
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靶功率对射频磁控溅射制备MoS_2-Sb_2O_3复合薄膜结构和性能的影响被引量:4
《润滑与密封》2011年第7期70-74,共5页张延帅 周晖 万志华 桑瑞鹏 郑军 
采用射频磁控溅射技术制备MoS2-Sb2O3复合薄膜,研究靶功率对薄膜性能和结构的影响。利用XRD、XRF分析薄膜的成分和结构,用CSM薄膜综合性能仪测试薄膜的硬度及附着力,通过承载力试验测试薄膜的承载性能,使用真空球-盘摩擦试验机测试真空...
关键词:射频磁控溅射 MoS2-Sb2O3 复合薄膜 靶功率 结构和性能 
非平衡线圈电流对掺钨含氢类金刚石碳膜力学和摩擦学性能的影响被引量:1
《润滑与密封》2010年第11期86-89,共4页杨拉毛草 周晖 郑军 桑瑞鹏 万志华 
利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅片及9Cr18不锈钢基体表面制备不同非平衡线圈电流下的掺钨含氢类金刚石碳膜。采用Raman光谱以及红外光谱分析薄膜结构,采用纳米硬度测试仪和纳米划痕仪研究薄膜的纳米硬度和膜基附着力,在球-盘摩擦磨损...
关键词:非平衡磁控溅射 金刚石碳膜 力学性能 摩擦学性能 
工件台偏压对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti薄膜的结构与性能影响被引量:1
《润滑与密封》2010年第4期28-32,共5页郑军 周晖 温庆平 万志华 桑瑞鹏 
航天支撑技术项目(417010802)
采用非平衡磁控溅射技术制备MoS2-Ti薄膜,研究工件台偏压对薄膜结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的厚度、硬度以及膜与基体的结合力,采用球-盘摩擦磨损试验机评价薄膜在真空环...
关键词:非平衡磁控溅射 MoS2-Ti复合薄膜 工件台偏压 结构和性能 
离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料真空摩擦学性能研究被引量:4
《真空科学与技术学报》2010年第3期334-339,共6页蒋钊 周晖 郑军 
国防科技工业民用专项科研技术研究项目(C4220060328)资助
通过多种表面测试手段对几种单一及双离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料的真空摩擦学性能进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。结果表明,Ti++N+双注入后表面真空摩擦磨损性能相对最好。这主要是由于离子注入引起的...
关键词:离子注入 空间齿轮传动副 30CrMnSi 真空摩擦学 摩擦磨损 
非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与真空摩擦磨损性能研究被引量:8
《摩擦学学报》2009年第4期374-378,共5页周晖 桑瑞鹏 温庆平 郑军 张凯锋 
航天支撑技术项目资助(417010802)
采用非平衡磁控溅射法制备MoS2-Yi复合薄膜,采用SEM、XRD和XRF对薄膜的结构进行表征,在真空球-盘摩擦试验机上评价试验载荷、转速以及基底材料种类对薄膜真空摩擦磨损性能的影响.结果表明:MoS2-Ti复合薄膜表面致密均匀,断面为细柱...
关键词:MoS2-Ti复合薄膜 结构 真空摩擦磨损性能 
沉积压力对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响研究被引量:6
《润滑与密封》2009年第5期9-12,41,共5页周晖 万志华 郑军 桑瑞鹏 温庆平 
航天支撑技术项目(417010802)
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积压力对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF、轮廓仪和XRD分析测试薄膜的成分、厚度和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机...
关键词:非平衡磁控溅射 MoS2-Ti复合薄膜 沉积压力 结构和性能 
工件台转速对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响被引量:2
《润滑与密封》2008年第4期1-3,19,共4页周晖 温庆平 郑军 桑瑞鹏 万志华 
航天支撑技术项目(417010802)
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评...
关键词:非平衡磁控溅射 MoS_2-Ti复合薄膜 工件台转速 结构和性能 
纳米球形WS_2颗粒对PTFE基固体润滑粘结干膜的改性研究被引量:1
《润滑与密封》2008年第1期63-67,共5页赵云平 温庆平 胡继星 郑军 
在PTFE基膜系中加入适当比例的纳米球形WS2颗粒,获得了不同性能的固体润滑粘结干膜,通过对膜层显微硬度、膜层附着力以及摩擦学性能的测试,筛选出一种性能较优的膜系。结果表明:在PTFE基膜系中增加适当比例的纳米WS2球,可以有效地减小...
关键词:纳米WS_2颗粒 PTFE 固体润滑粘结干膜 摩擦学性能 
沉积温度对非平衡磁控溅射MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响研究被引量:2
《润滑与密封》2007年第12期16-19,22,共5页周晖 郑军 温庆平 桑瑞鹏 万志华 
航天支撑技术项目(417010802).
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积温度对薄膜的结构和性能的影响。利用SEM、XRF和XRD分析薄膜的形貌、成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环...
关键词:非平衡磁控溅射 MoS2-Ti复合薄膜 沉积温度 结构和性能 
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