激光微调

作品数:30被引量:28H指数:3
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激光微加工技术在集成电路制造中的应用被引量:12
《光学与光电技术》2006年第4期25-28,共4页曹宇 李祥友 蔡志祥 曾晓雁 
国家自然科学基金(50575086);国家863新材料主题(2005AA311030)资助项目
激光微加工技术以非接触加工方式,高效率、无污染、高精度、热影响区小的优点在微电子集成电路制造中得到了广泛应用。介绍了在集成电路制造封装中采用的激光微调、激光打孔、激光清洗、激光柔性布线和激光微焊技术。
关键词:激光微加工 集成电路制造 激光微调 激光清洗 激光打孔 激光柔性布线 激光微焊 
厚膜微调技术及发展趋势被引量:9
《光机电信息》2004年第6期29-34,共6页李文娟 田兴志 
介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类。与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展...
关键词:厚膜电阻 厚膜微调 喷砂微调 脉冲电压微调 激光微调 集成电路 
厚、薄膜电阻激光快速微调技术被引量:4
《光机电信息》2000年第7期23-26,共4页张景旭 田兴志 
详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.
关键词:集成电路 激光微调 激光调阻 薄膜电阻 厚膜电阻 
硅片电阻的激光微调
《混合微电子技术》1991年第4期28-34,共7页姜霞 
关键词:硅片 电阻 激光微调 集成电路 工艺 
美国混合集成电路技术及贸易概况
《航天出国考察技术报告》1991年第2期167-176,共10页周晓阳 周群 
关键词:微电子学 集成电路 激光微调 市场 
激光微调系统的自定方位,自对焦和自测试诊断功能
《电气自动化》1990年第5期35-39,共5页陈明廉 张火 
关键词:集成电路 激光微调 测试 诊断 
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