极紫外

作品数：413被引量：787H指数：12
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40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展
《光学精密工程》2024年第9期1293-1306,共14页来搏 蒋励 齐润泽 王占山 
国家自然科学基金资助项目(No.12204353,No.12003016);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目。
极紫外多层膜反射镜在许多科学与技术领域,如极紫外光刻、天体物理学、等离子体诊断、阿秒物理和自由电子激光等方面有重要应用。多层膜使极紫外波段反射镜在正入射条件下具有高反射率和窄带宽成为可能。多层膜反射镜是极紫外成像和光...
关键词：光学薄膜 极紫外 多层膜 窄带 高反射 
17. 1 nm 极紫外滤光片的制备被引量：2
《光学精密工程》2023年第2期141-149,共9页牛筱茜 缪鹏飞 王瀚林 王孝东 陈波 
国家自然科学基金天文联合基金资助项目(No.U203110007)。
为了预警空间天气,需对日地空间物理过程进行监测,极紫外(Extreme Ultraviolet, EUV)滤光片是极紫外成像仪其中的重要组成部分,用来去除太阳辐射光谱中的非工作波段的辐射。为了优化EUV滤光片在17.1 nm波长处的透过率,本文基于比尔-朗...
关键词：金属薄膜 滤光片 栅网支撑 极紫外 氧化层 
极紫外正入射光学系统研究进展被引量：1
《光学精密工程》2022年第21期2678-2687,共10页张哲 伊圣振 黄秋实 陈晟昊 李文斌 张众 王占山 
国家重点研发计划资助项目(No.2019YFE03080200);国家自然科学基金资助项目(No.11805212)。
极紫外正入射光学系统广泛应用于生物结构显微成像、等离子体诊断、太阳物理观测和极紫外光刻等领域中,对其开展深入研究具有重要意义。本文对同济大学精密光学工程研究所在极紫外正入射光学系统方面的最新进展进行介绍,列举了应用于超...
关键词：极紫外 多层膜 Schwarzschild系统 等离子体诊断 成像系统 聚焦系统 
极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测被引量：3
《光学精密工程》2022年第21期2688-2697,共10页余俊 王占山 黄秋实 张众 沈正祥 焦宏飞 盛鹏峰 夏菁菁 王一凡 
国家重点研发计划资助项目(No.2019YFE03080200);国家自然科学基金资助项目(No.62105244)。
极紫外、X射线为微观物质认识、宏观空间探测提供了高精度的观测手段,但这类观测的实现需要大量高精度光学反射元件的支撑。由于极紫外、X射线在光学表面更易发生散射,其光学反射镜基底的精度需求和制作技术也明显区别于长波元件。近年...
关键词：超精密加工 极紫外 X射线 反射镜基底 非球面元件 绝对检测 
薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤
《光学精密工程》2022年第21期2698-2710,共13页李文斌 李淑慧 潘刘洋 张哲 谢春 黄秋实 王占山 
国家自然科学基金资助项目(No.11875203,No.61621001)。
随着超短超强自由电子激光等光源的应用,极紫外、X射线波段薄膜反射镜的抗辐照性能备受关注。本文介绍了IPOE实验室搭建的纳秒极紫外辐照损伤装置,并对极紫外-X射线自由电子激光常用的B_(4)C薄膜反射镜、Au和Ru金属单层膜反射镜、B_(4)C...
关键词：极紫外 薄膜反射镜 抗损伤性能 损伤机制 
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备被引量：3
《光学精密工程》2018年第10期2395-2406,共12页匡尚奇 李硕 杨海贵 霍同林 周洪军 
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61405189);吉林省科技发展计划资助项目(No.20150101019JC;20170312024ZG)
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EU...
关键词：多层膜设计 极紫外 离散化设计 宽带多层膜 
极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性被引量：8
《光学精密工程》2013年第6期1380-1386,共7页朱京涛 宋竹青 丁涛 马爽 李浩川 
国家自然科学基金资助项目(No.10905042;11061130549);国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB922203)
采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性。对放置在室温和80%相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC...
关键词：极紫外多层膜 多层膜反射镜 稳定性 湿度 
使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统被引量：20
《光学精密工程》2010年第12期2543-2548,共6页尼启良 何玲平 刘世界 董宁宁 陈波 
国家自然科学基金资助项目(No.40774096;10878004;61077016)
研制了用于月基极紫外成像相机的二维极紫外位敏阳极光子计数成像探测器原型样机,该探测器系统主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形感应位敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1.5mm,有效直径为47 mm...
关键词：极紫外探测器 光子计数成像探测器 微通道板 感应电荷 楔条形位敏阳极 
月基观测地球等离子体层极紫外辐射特性被引量：8
《光学精密工程》2010年第12期2564-2573,共10页何飞 陈波 张效信 
国家自然科学基金资助项目(No.40774079;40774098;40890160);公益性行业专项资助项目(No.CYHY06024)
研究了地球等离子体层的极紫外辐射特性,结果表明从月球上探测时地球等离子体层顶位于35 081.75 km以内,等离子体层结构的典型尺度量级为637.85 km,He＋30.4 nm辐射强度为0.02~11.4 Rayleigh。讨论了月球轨道运动特性和月球表面环境特性...
关键词：地球等离子体层 月基观测 极紫外观测仪器 月球环境 
极紫外单色仪波长定标被引量：12
《光学精密工程》2008年第9期1660-1665,共6页董宁宁 李敏 刘震 尼启良 陈波 
国家自然科学基金资助项目(No.40774098No.60677043)
给出了一种新的极紫外（EUV）单色仪定标方法。通过测量标准气体He空阴极光源的30．38和58．43nm两条发射光谱和标定过的中心波长为13．90nm的Mo／Si多层膜反射镜的反射率峰值位置，对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标，将所定的标...
关键词：EUV单色仪 定标 多层膜反射镜 准确度 重复性 
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