硅光波导

作品数：15被引量：22H指数：2
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：王明华杨建义武爱民潘姬杨恩泽更多>>
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相关期刊：《光学学报》《半导体技术》《光电子技术》《聊城大学学报（自然科学版）》更多>>
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超紧凑抛物线形硅基光模斑转换器
《聊城大学学报（自然科学版）》2024年第1期1-8,共8页袁博 姜浩 刘艺林 张赞允 
国家自然科学基金项目(61974099,62022081)资助。
在集成光路中,光模斑转换器可实现两个截面尺寸不同的光波导器件之间的绝热光传输,对于降低光链路损耗具有重要作用。在硅基光电子芯片中,硅基光模斑转换器通常用来实现单模波导和多模波导之间的连接,常用于光栅耦合器与单模波导之间的...
关键词：绝缘体上硅 硅光波导 抛物线形模斑转换器 
高性能无源硅光波导器件:发展与挑战被引量：9
《光学学报》2022年第17期214-230,共17页刘大建 赵伟科 张龙 宋立甲 郭敬书 谢意维 李欢 俞泽杰 刘柳 时尧成 戴道锌 
国家杰出青年科学基金(61725503);国家自然科学基金(91950205,92150302,61961146003)。
硅光技术凭借其CMOS兼容性和高集成度等突出优势,被认为是最具发展潜力的新一代光子集成主流技术,在全球范围内受到极大关注。近年来,无源/有源硅光器件及其集成芯片研究均取得了重要进展。而随着光通信、光互连、光传感、光测量及光计...
关键词：集成光学 硅光 波分复用 偏振复用 模式复用 高性能 
基于端面耦合的InP基激光器/硅光波导混合集成技术研究
《光电子技术》2020年第1期13-18,共6页王艳 王东辰 徐鹏霄 唐光华 尤国庆 孔月婵 
针对硅光子集成回路缺少实用化光源的问题,提出了一种1.55μm波段InP基FP激光器芯片、InP基PIN光电探测器芯片与硅光波导芯片集成模块的设计与制备方法。使用CMOS工艺兼容的硅光无源器件制备工艺,设计并制备了倒拉锥型端面耦合器,与锥...
关键词：InP基激光器 硅光波导 端面耦合 混合集成 
平面氧化硅光波导环形谐振腔的温度特性被引量：1
《微纳电子技术》2018年第6期415-421,共7页郭慧婷 唐军 钱坤 张成飞 
国家自然科学基金面上项目(61571406);山西省青年拔尖人才项目(2016002)
温度变化会在氧化硅光波导谐振腔中引起极化误差，该极化误差所引起的偏振波动噪声是限制谐振式集成光学陀螺长期稳定性的主要因素。通过对反射式和透射式两种结构的谐振腔分别进行主动温控实验，成功测得了谐振腔的温度特性，并对其进...
关键词：氧化硅 谐振腔 光波导 温度特性 谐振式微光学陀螺 
日本开发成功高效光信号转换技术
《航天器工程》2012年第2期61-61,共1页
据中国科技部网站2012年3月7日消息，日本独立行政法人产业技术综合研究所和NEC公司合作，成功研发出光纤与光电集成电路之间的高效光信号转换技术。该研究利用硅光电技术研制出的多路硅光波导转换器，可方便地安装在光电集成电路和光...
关键词：转换技术 光信号 日本 产业技术综合研究所 光电集成电路 开发 独立行政法人 硅光波导 
基于硅光波导非线性效应的色散监测技术研究被引量：2
《光学学报》2010年第4期944-948,共5页邹良港 宋牟平 
色散监测是实现高速光通信的一项关键技术,利用光波导器件的非线性效应进行色散监测可以实现集成化。硅光波导具有强烈的非线性特性,其非线性折射率系数约为5×10^(-18)m^2/W。当信号光和抽运光耦合后通过硅光波导,会产生自相位调制(SP...
关键词：光通信 色散监测 硅光波导 非线性效应 
玻璃基硅光波导的研制被引量：1
《光学仪器》2005年第6期53-57,共5页李广波 龙文华 贾科淼 江晓清 王明华 王跃林 杨建义 
国家自然科学基金资助项目(60377030;60436020);上海市应用材料科技合作计划项目(0417);教育部重点科技项目
采用硅-玻璃键合和选择性腐蚀技术研制出了玻璃上硅(SOG)光波导材料。所研制出的光波导材料表面质量主要取决于所用绝缘体上硅(SO I)材料。当所用SO I材料为基于SIMOX技术的材料时,表面RM S粗糙度为3nm左右,自相关长度为100nm左右。采用...
关键词：集成光学 光波导 硅 键合 
光波导参数测试
《中国光学》2004年第1期49-49,共1页
TN252 2004010372 多孔硅通道型光波导的制备及传输损耗的测量=Fabrication of porous silicon channel waveguides and measurement ofits propagation loss[刊,中]贾振红(新疆大学信息科学与工程学院.新疆,乌鲁木齐(830046))∥光子学...
关键词：多孔硅 硅光波导 传输损耗 信息科学 制备 新疆大学 光子学 参数测试 通道 测量方法 
氮氧化硅光波导的制作途径、性质及应用
《半导体技术》1998年第1期10-14,共5页祖继锋 余宽豪 
重点分析了硅基ＳｉＯＮ光波导的工艺制作途径及其有关性能。根据有关实验结果，讨论了工艺中存在的问题，最后给出了它的应用。
关键词：氮氧化硅 化学汽相淀积 光波导 制造工艺 
一个新的脊背式硅光波导定向耦合器计算模型
《上海大学学报（自然科学版）》1997年第3期256-259,共4页徐志平 程东方 孙乃疆 赵冷柱 
上海市科委自然科学基金
本文提出一个导波区域的等效折射率模型，并应用介质光波导的强耦合理论和有效折射率方法，给出一个较合理的大尺寸单模脊背式半导体光集成中定向耦合器的理论计算模型。
关键词：光波导 定向耦合器 脊背式 计算模型 
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