硅压力传感器

作品数：153被引量：327H指数：8
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一种硅压力传感器的高精度宽温度补偿设计被引量：5
《传感器世界》2010年第4期17-19,25,共4页胡永建 
本文提出了一种硅压力传感器的温度补偿方法,同时给出了如何进行温度补偿以及非线性修正的具体算法,实现了硅压力传感器宽温度范围下的高精度测量。
关键词：硅压力传感器 温度补偿 三次样条插值 
扩散硅数字化压力变送器补偿技术被引量：1
《传感器世界》2010年第4期26-28,31,共4页崔卫 黄鹏军 李笃明 蔡亚平 
详细介绍了扩散硅压力变送器的特点和现状,提出了对扩散硅压力变送器的数字补偿方案和补偿算法及实际测试结果。该技术提高了产品的整体性能,很好的解决了变送器零点温漂和灵敏度温漂的问题,并通过批量化的生产证实这种技术的正确性。
关键词：扩散硅压力传感器 压力变送器 数字补偿 补偿算法 
ASDX系列塑封硅压力传感器
《传感器世界》2009年第11期42-42,共1页
霍尼韦尔公司最新出品一种提供模拟量比例输出的塑封硅压力传感器，用于读取满刻度压力范围和温度范围内的压力。
关键词：硅压力传感器 塑封 霍尼韦尔公司 温度范围 压力范围 模拟量 
ANSYS在梁-膜-岛结构设计中的应用被引量：1
《传感器世界》2004年第1期33-35,共3页孙承松 杨芳 
本文利用ANSYS 软件对扩散硅力敏器件进行了力学分析，给出了不同尺寸梁—膜—岛结构的应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度分布曲线，为力敏电阻的合理布置提供了理论依据。
关键词：ANSYS软件 梁—膜—岛结构 力敏电阻 应力分布曲线 扩散硅压力传感器 
扩散硅压力传感器应力计算建模被引量：6
《传感器世界》2004年第1期36-38,共3页李进军 石成英 
本文依据弹性力学厚板原理建立扩散硅压力传感器的应力计算模型,根据电桥原理得到应力与其输出电压之间的关系。计算结果与标定值比较,吻合良好。
关键词：扩散硅压力传感器 应力计算 电桥原理 弹性力学 
影响扩散硅压力传感器稳定性的因素及解决方法被引量：2
《传感器世界》2000年第8期13-16,共4页唐慧 季安 章学群 孙艳宾 
本文分析了影响扩散硅压力传感器稳定性产生的原理,并依据半导体理论,在工艺上采取了相应的措施。大大改善的传感器的稳定性,使我们生产的传感器稳定性达到国外同类产品的先进水平。
关键词：压力传感器 稳定性 扩散 硅 
MEMS在医疗领域中的应用
《传感器世界》1997年第7期15-18,26,共5页
微电子机械系统MEMS从80年代开始应用于医疗领域,其中产生了各种硅压力传感器和硅加速度计,以及一些自定义的特殊微结构.这些产品具有比其它类型的产品更多的优势,如体积小、性能稳定,且价格便宜,同时用来进行硅电子元件生产的大多数晶...
关键词：MEMS 传感器 医疗器械 硅压力传感器 
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