复合抛光

作品数:47被引量:151H指数:6
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相关领域:金属学及工艺更多>>
相关作者:阎秋生潘继生韩冰张振宇路家斌更多>>
相关机构:广东工业大学大连理工大学南京航空航天大学长春工业大学更多>>
相关期刊:《设备管理与维修》《无机材料学报》《新技术新工艺》《现代制造工程》更多>>
相关基金:国家自然科学基金陕西省教育厅省级重点实验室科研与建设计划项目广东省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
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磁流变抛光技术研究进展被引量:1
《机械设计与制造》2024年第3期254-260,共7页戴立达 张争艳 乔国朝 
国家重点研发计划(2018YFB1107600);国家自然基金(61802108);河北省自然基金(E2017202296)。
表面质量是精密零部件最重要的性能之一,零件的表面质量主要是由加工过程中不同的工艺参数和方法决定的。传统的磨抛工艺由于作用在工件上的力很大、嵌入的磨料颗粒、对工艺的控制有限等原因很难使表面粗糙度降低到精密零部件的要求精...
关键词:磁流变抛光 磁流变抛光液 材料去除模型 磁流变抛光方法 磁流变复合抛光 
紫外光催化振动复合抛光被引量:1
《红外与激光工程》2022年第11期353-359,共7页于保军 郭桌一 卢发祥 谷岩 林洁琼 
吉林省重点实验室专项和主题科学家专项(20190201254JC)。
为了满足工业领域的不同要求,研究了碳化硅(SiC)陶瓷超光滑表面且无表面损伤的抛光工艺,提出了一种紫外光催化振动复合抛光新方法。基于紫外光催化反应理论,论述了光催化振动复合抛光的加工机理,进行了不同的实验。首先进行了甲基橙降...
关键词:复合抛光 紫外光 振动 碳化硅陶瓷 团聚 
单晶SiC基片的磁流变化学复合抛光被引量:2
《金刚石与磨料磨具工程》2022年第1期129-135,共7页梁华卓 付有志 何俊峰 徐兰英 阎秋生 
广东省基础与应用基础研究基金(2021A1515110528,2019A15150101720)。
基于芬顿反应的磁流变化学复合抛光加工原理,对单晶SiC基片进行磁流变化学复合抛光试验,研究工艺参数对其抛光效果的影响。结果表明:随着金刚石磨粒粒径的增大,材料去除率先增大后减小,而表面粗糙度先减小后增大;随着磨粒质量分数的增大...
关键词:磁流变化学复合抛光 芬顿反应 SIC 
超精密磁流变复合抛光技术研究进展被引量:17
《广东工业大学学报》2016年第6期28-33,共6页肖晓兰 阎秋生 潘继生 于鹏 梁华卓 陈润 
国家自然科学基金资助项目(51375097);广东省自然科学基金重点项目(2015A030311044);高等学校博士学科点专项科研基金(20134420110001)
对超精密磁流变复合抛光技术的国内外研究进展进行了评述,介绍了当前主要应用的几种超精密磁流变复合抛光技术的加工原理和发展现状.重点介绍了磁流变射流复合抛光、超声波磁流变复合抛光、化学机械磁流变复合抛光以及集群磁流变复合抛...
关键词:超精密 加工 磁流变 复合抛光 技术发展 
氮化硅陶瓷滚子磁流变、化学与超声复合抛光工艺试验被引量:11
《轴承》2016年第2期14-19,共6页张占立 熊明照 王恒迪 王锋 邓四二 
国家科技部国防科工委基金项目(JPT-125-171);河南省杰出人才创新基金项目(144200510020);洛阳市科技计划项目(1301016A)
为实现氮化硅陶瓷滚子抛光的高效、高精度要求,提出磁流变、化学与超声复合的抛光工艺方法。分析复合抛光的加工机理;利用试验机,在不同工艺参数下进行了复合抛光工艺试验,分析各主要工艺参数对抛光材料去除率和滚子表面粗糙度的影响规...
关键词:滚动轴承 陶瓷滚子 磁流变液 超声波 化学抛光 工艺试验 
45钢电解–机械复合抛光工艺优化
《电镀与涂饰》2013年第9期48-50,共3页时君丽 周茂军 曲洪伟 
采用电解–机械复合抛光工艺处理某压缩机45钢曲轴,以改善其表面粗糙度。通过单因素试验和正交试验对电解–机械复合抛光工艺进行优化,得到的最佳工艺条件如下:对于脉冲电解抛光,输出频率1 000 Hz,方波占空比50%,电解液NaNO3的质量分数2...
关键词: 抛光 电解法 机械法 正交试验 粗糙度 
硅片边缘超声振动辅助化学机械抛光实验被引量:6
《农业机械学报》2010年第2期221-226,共6页刘仁鑫 杨卫平 吴勇波 
日本秋田县新规事业开发支援基金资助项目(A-2006235)
提出一种超声振动辅助化学机械复合抛光硅片边缘新技术,建立了抛光工具设计、性能检测及复合抛光实验系统,并进行了不同超声振动形式传统化学机械以及抛光工具对硅片边缘抛光的实验研究。结果表明,在相同抛光条件下,抛光工具超声椭圆振...
关键词:硅片边缘 超声椭圆振动 复合抛光 
超声椭圆振动化学机械抛光原理与实验系统被引量:1
《南京航空航天大学学报》2008年第6期753-757,共5页杨卫平 徐家文 吴勇波 
介绍了抛光工具超声椭圆振动产生的基本原理,并实际测试了抛光工具的椭圆运动特性。从理论上分析了在抛光工具上加入超声椭圆振动后,对改善和提高抛光效果的作用机理。在上述研究工作基础上,建立了超声椭圆振动辅助抛光实验系统并进行...
关键词:超声 椭圆振动 化学机械抛光 复合抛光 
电解磨料喷射抛光工艺的试验研究
《机械工程师》1996年第S1期1-3,共3页杨建明 李映平 金庆同 
电解磨料喷射抛光工艺的试验研究淮海工学院杨建明,李映平南京航空航天大学金庆同1前言抛光是机械加工特别是模具生产中用来改善零件表面质量的一种光整加工手段。除传统的抛光方法外.现有化学抛光、电解抛光、喷九抛光(包括干喷丸...
关键词:电解磨料喷射 抛光工艺 复合抛光 表面粗糙度 电解抛光 抛光效果 试验研究 喷射距离 钝化膜 去除量 
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