靶室

作品数：54被引量：65H指数：4
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旋转批靶离子注入机靶室晶圆传送系统设计
《电子工业专用设备》2025年第1期28-32,54,共6页郭锐利 彭立波 罗才旺 
为满足旋转批靶离子注入机的自动化需求,设计了旋转批靶离子注入机的靶室晶圆传送系统,介绍了靶室结构和晶圆传送流程、片库腔体、机械手腔体和靶室腔体;分析了3种传片流程,并进行比较;论述了靶室运动控制系统及硬件和软件设计思路。最...
关键词：离子注入机 晶圆传送系统 真空机械手 靶室 运动控制 
高温高能特种离子注入机靶室控制系统设计被引量：1
《电子工业专用设备》2018年第1期14-20,共7页蔡先武 钟新华 
提出了一种基于NI CompactRIO嵌入式实时控制器的高温高能离子注入机靶室控制系统;介绍了高温高能离子注入机的靶室控制系统主要功能、工作原理和系统组成。靶室控制系统采用NI CompactRIO实时测量与控制器作为靶室控制系统的主控制器,...
关键词：CompactRIO嵌入式实时控制器 剂量控制器 束流与剂量测量 均匀性控制 
300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计被引量：3
《电子工业专用设备》2010年第5期26-29,37,共5页谢均宇 杨亚兵 孙勇 
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模...
关键词：晶圆传送系统 自动控制 机械手 TURBO PMAC 有限状态机 
离子注入机靶室尘埃污染与系统改造被引量：2
《电子工业专用设备》2002年第2期103-105,共3页陈毅功 
讨论了离子注入机尘埃污染的原因 ,给出了用冷凝泵系统取代扩散泵系统的改造实践 ,并提出了预防维修措施以全面减少尘埃污染。
关键词：靶室 系统改造 离子注入机 尘埃 污染 冷凝泵 晶片 
木马式连续注入靶室
《电子工业专用设备》1989年第1期12-13,共2页徐志敏 
靶室是离子注入机的关键部件之一,它对于提高注入机的注入速度、注入质量以及使注入机能开展多方面的实验研究,都有一定的影响。我厂研制的T45 200—1/ZK型微控中束流离子注入机靶室是仿日本真空技术株式会社200—DF_4型离子注入机而设...
关键词：离子注入机 靶室 木马式 连续注入 
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