半导体硅

作品数：284被引量：363H指数：10
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半导体硅片金属微观污染机理研究进展被引量：7
《半导体技术》2004年第8期53-56,共4页郑宣 程璇 
国家自然科学基金资助项目(20073036)
综述了近10年来国内外在半导体硅片金属微观污染研究领域的进展。研究了单金属特别是铜的沉积、形成机理和动力学以及采用的研究方法和分析测试手段,包括对电化学参数和物理参数等研究。指出了随着科学技术的不断发展,金属污染金属检测...
关键词：半导体硅片 微观污染 铜沉积 硅清洗 
半导体硅材料最新发展现状被引量：16
《半导体技术》2002年第2期3-6,共4页蒋荣华 肖顺珍 
概述了现代微电子工业的发展状况及对半导体硅材料的新要求，叙述了近年来国际半导体多晶硅和单晶硅材料的发展状况与趋势。
关键词：半导体硅 多晶硅 单晶硅 半导体材料 
我国半导体硅材料工业实际生产水平与市场需求动向
《半导体技术》1995年第3期2-10,27,共10页李玉增 
较为详尽地阐述了我国半导体硅材料生产的实际水平，诸如品种、质量、市场等情况，并与国外发展做简单对比，提出未来发展建议。
关键词：硅材料 工业 生产水平 市场 需求 动向 
半导体硅材料与信息化社会的发展被引量：1
《半导体技术》1994年第6期14-18,共5页周福生 刘宜家 
重点阐述了半导体硅材料与信息化社会发展的关系；２１世纪新兴工业的特色与未来；国内外半导体硅材料的发展状况及我国在这一领域的科技进步与差距以及对今后的展望。
关键词：半导体 硅材料 单晶硅 进展 
半导体硅特性显微FTIR测量技术研究
《半导体技术》1994年第3期43-45,共3页李光平 汝琼娜 李静 何秀坤 
本文针对大规模集成电路应用需要，采用显微付里叶变换红外光谱仪研究了硅中的氧、碳含量，硼、磷硅玻璃中的硼、磷含量及外延层厚度的微区测量技术，在光孔尺寸为１００×１００μｍ级时，测量精度达到国标的要求，空间分辨率提高了近...
关键词：半导体材料 硅 测量 显微镜 
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