半导体硅

作品数:284被引量:363H指数:10
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半导体硅材料CMP三维有限元分析被引量:2
《稀有金属》2023年第9期1324-1330,共7页王新 周旗钢 路一辰 宁永铎 郑宇 王永涛 
国家重点研发计划项目(2017YFB0305603)资助。
利用有限元仿真方法分析了四轴多片式单面抛光系统的抛光压力分布,建立三维准静态非轴对称模型,设定了模型部件尺寸和材料物性参数,设定模型假设条件和边界约束,使用有限元软件计算不同抛光垫杨氏模量和不同载荷条件下对硅片表面法向应...
关键词:硅片 化学机械抛光(CMP) 有限元分析 法向应力 
半导体硅片酸腐蚀后形状实验研究被引量:6
《稀有金属》2019年第10期1062-1067,共6页宁永铎 周旗钢 钟耕杭 张建 赵伟 汪奇 
国家重点研发计划项目(2017YFB0305603)资助
以半导体硅片制备工艺中的酸腐蚀过程为研究对象,采用硅片几何参数检测设备的原始数据为数据源,借助空间统计手段和数据可视化技术,基于实验研究酸腐蚀过程中硅片的转动、外加气泡扰动因素对半导体硅片酸腐蚀后形状的影响。通过实验数...
关键词:半导体硅片 酸腐蚀 总厚度差 硅片形状 
我国半导体硅材料工业的现状及对其发展的几点看法
《稀有金属》1995年第6期434-437,共4页冯仪 
综述了近年来我国硅材料工业的发展状况,提出了加强投资、提高效益、开拓市场等进一步加快发展的设想。
关键词: 材料 半导体 工业 中国 
世界半导体硅工业及其下游产业的进展
《稀有金属》1995年第5期377-383,共7页钱勇之 
综述了世界半导体硅材料工业及其下游产业(硅半导体器件、硅电力电子器件、硅传感器、硅太阳电池)的进展和展望。
关键词: 半导体器件 工业经济 世界 半导体材料 
扎波罗热钛镁联合企业的半导体硅与锗的生产技术状况
《稀有金属》1995年第1期69-71,共3页法勒克维奇З.С. 兰春梅 
扎波罗热钛镁联合企业具有30余年的半导体生产历史,拥有从原料制备、单晶生长到成品加工的系统工艺,该厂生产规模较大、技术水平高,还有强大的研究开发与检验测试组织。
关键词:硅单晶 硅多晶 锗单晶 生产 半导体 
半导体硅材料进展被引量:1
《稀有金属》1995年第1期62-68,78,共8页宋大有 
综述了国内外硅材料研究动态,分析了电子工业的发展对硅材料的新要求;讨论了硅单晶大直径化、磁场拉晶、连续投料拉晶、粒状多晶等工艺问题及硅材料的市场行情;展望了半导体硅材料的发展前景。
关键词: 单晶 粒状多晶 磁场拉晶  
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