薄膜电阻器

作品数:32被引量:29H指数:3
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集成埋置式薄膜无源元件MCM的研究现状
《混合微电子技术》1999年第2期19-25,共7页何金奇 
本文介绍了带有埋置式集成薄膜无源元件MCM的研究现状,其中包括MCM集成无源元件的研制方法,材料和工艺的选择和优化及MCM制造工艺等一整套问题,分析了集成薄膜无源元件MCM的优缺点及其发展趋势。
关键词:薄膜电阻器 电容器 多芯片组件 无源元件 
埋置型薄膜多层布线技术研究
《混合微电子技术》1995年第4期38-44,共7页王桦 
埋置型薄膜多层布线基板与其它多层布线基板相比有更高的集成度。本文讨论了埋置型薄膜多层布线基板制造工艺中的技术问题及解决措施。并成功地在埋置双层混合电路中进行了应用。
关键词:混合集成电路 多层布线 薄膜电阻器 埋置型 
精密薄膜片状电阻器被引量:1
《混合微电子技术》1991年第3期17-23,共7页张经国 
关键词:薄膜电阻器 电阻器 片状 
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