薄膜电阻器

作品数：32被引量：29H指数：3
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一种测量薄膜电阻器微弱噪声的放大电路设计被引量：1
《电子元件与材料》2015年第3期62-66,共5页吴晟 梁津津 兰卉 刘宁 
国家自然科学基金资助项目(No.41206031);天津科技兴海资助项目(No.2014-14)
针对薄膜电阻器微弱噪声信号的检测,设计了一种实用化的基于AD797集成运放芯片的低噪声放大电路。同时,在电路形式设计和器件选择两方面论述了放大电路设计要点,并在实验和理论的基础上分别进行了电路性能的验证和探测下限的讨论。实验...
关键词：薄膜电阻器 微弱信号 放大电路 噪声测量 热噪声 1/f噪声 
用溅射法制备混合集成电路中的Cr·SiO薄膜电阻器
《电子元器件应用》2002年第8期46-47,58,共3页王军峰 殷小莉 陈福山 
介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。
关键词：Ci·SiO薄膜电阻器 混合集成电路 溅射 TCR 
用双源蒸发台制作混合电路用的Cr·SiO薄膜电阻器
《电子元器件应用》2001年第10期36-38,共3页赵亚民 
本文简要介绍使用钟罩型真空镀膜机和双源蒸发工艺制作高质量Cr·SiO薄膜电阻器的探索与实践,结果表明,这是一种基于原有设备的具有工艺简单稳定、流程短而效率较高的实用新工艺,完全可以替代原有工艺而投入生产。
关键词：双源蒸发台 薄膜电阻器 混合电路 铬 氧化硅 
埋置型薄膜多层布线技术研究
《混合微电子技术》1995年第4期38-44,共7页王桦 
埋置型薄膜多层布线基板与其它多层布线基板相比有更高的集成度。本文讨论了埋置型薄膜多层布线基板制造工艺中的技术问题及解决措施。并成功地在埋置双层混合电路中进行了应用。
关键词：混合集成电路 多层布线 薄膜电阻器 埋置型 
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