薄膜光学常数

作品数：49被引量：131H指数：6
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相关机构：西安工业大学中国科学院中国科学院上海光学精密机械研究所天津津航技术物理研究所更多>>
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薄膜光学常数和厚度的测量方法及技术研究
《佳木斯大学学报（自然科学版）》2024年第10期176-180,共5页章大鹏 陈妍 徐中辉 
江西省科技厅项目(20224BAB201023);江西理工大学优秀人才计划项目(3203304666);赣州市科技创新人才计划项目(赣市科发[2019]60-43)。
详细介绍了基于光谱拟合反演薄膜参数的方法,得到了简化后的薄膜-基底光学系统的透射率公式,借助Cauchy模型,建立了光谱拟合评价函数。采用改进型遗传算法得到Si薄膜在500~800nm波长范围内的光学常数和厚度,结果表明,薄膜折射率和厚度...
关键词：光谱拟合 Cauchy模型 遗传算法 数字滤波 
基于反射光谱的薄膜光学常数和厚度测试
《红外技术》2024年第8期965-973,共9页吕永林 郑万祥 李汝劼 张友良 唐莹娟 张伟涛 陈奕君 王贵全 李彦生 王乔方 
薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射...
关键词：光学薄膜 反射光谱 折射率 薄膜厚度 
薄膜光学常数的原位测定被引量：4
《红外与毫米波学报》2022年第5期888-893,共6页谢茂彬 吴智勇 崔恒毅 赵新潮 玄志一 刘清权 刘锋 孙聊新 王少伟 
fumded by Natuonal key R&D Program of China(2021YFA07115500);National Notural Science Foundation of China(11874376)。
薄膜的光学常数(折射率和消光系数)精度直接影响设计和制造的光学器件的性能。大多数光学常数的测定方法较为复杂,不能直接应用在镀膜过程中。提出了一种薄膜光学常数原位实时测量的方法,通过监测沉积材料的透射率可以快速准确地测量光...
关键词：光学常数 近红外 薄膜 原位 测定 
基于原位共角椭偏与反射谱的TiO_(2)薄膜光学常数分析被引量：2
《激光技术》2022年第2期288-292,共5页孙晓娟 韩培高 隽方蓥 郝殿中 
国家自然科学基金资助项目(11104160)。
为了分析溶胶-凝胶法制备的TiO_(2)薄膜的光学常数,采用旋涂法制备了多层TiO_(2)薄膜,利用扫描电镜对表面形貌进行了分析,利用椭圆偏振光谱对薄膜的折射率色散和孔隙率进行了拟合分析,并利用原位共角反射光谱对拟合结果进行了验证,得到...
关键词：光谱学 光学常数 椭圆偏振光谱 二氧化钛薄膜 
薄膜光学常数的改进粒子群反演算法
《中国科技论文》2020年第4期379-384,共6页刘永上 王耀霆 徐治国 
国家自然科学基金资助项目(51576126)。
针对聚酰亚胺薄膜的光学常数进行反演计算,在传统粒子群算法的基础上引入模拟退火算法改进优化。基于改进后的算法由薄膜透射率测量数据反演求解薄膜在波长为450~2500 nm的折射率和消光系数。针对求解波长范围大、薄膜透射率数值变化剧...
关键词：薄膜 粒子群算法 透射率 光学常数 聚酰亚胺 
利用单波长椭偏仪对各向异性薄膜光学常数和欧拉角的研究被引量：2
《华南师范大学学报（自然科学版）》2019年第4期14-20,共7页冀丽娜 邓剑勋 汪娟 黄佐华 
国家自然科学基金项目(61704031);广州市科学研究专项资助项目(2014J4100130)
基于椭偏测量原理和4×4矩阵法原理,提出了利用单波长椭偏仪在光轴平行于薄膜表面方向上测量各向异性薄膜的薄膜参数(包括双折射率、厚度及欧拉角)的方法.通过转动待测样品90°的方法,得到2组椭偏参数,利用反演算法对2组椭偏参数进行反...
关键词：4×4矩阵法 各向异性薄膜 单波长椭偏仪 
一种基于传输矩阵模型确定薄膜光学常数的方法
《电脑知识与技术》2018年第1X期216-218,共3页张小翠 
为了快速便捷的确定薄膜材料的光学常数,报道了一种基于传输矩阵模型确定薄膜光学常数的方法。通过软件Mathematica编程,以ITO(Sn:In2O3)薄膜为例,详细给出了传输矩阵的工作原理,提取光学常数的过程和注意事项,验证了此方法和相应程序...
关键词：传输矩阵 光学常数 折射率 消光系数 多解 
热蒸发HfO_2薄膜光学常数表征
《长春理工大学学报（自然科学版）》2017年第3期18-21,37,共5页常艳贺 惠冰 张静 冯时 赵群 
长春理工大学青年科学基金项目(XQNJJ-2015-05)
薄膜材料库中的光学常数与实际制备的相比有很大差别,精确求解在特定工艺条件下的光学常数对设计和制备多层薄膜具有重要意义。在熔融石英(JGS1)基底上,采用热蒸发沉积方法制备了厚度为330nm的单层HfO_2薄膜,利用分光光度计测量薄膜的...
关键词：薄膜 光学常数 包络法 光度法 HFO2 
离子束溅射薄膜光学常数表征的光斑效应被引量：2
《光学学报》2017年第10期350-356,共7页刘华松 杨霄 刘丹丹 姜承慧 李士达 季一勤 张锋 王利栓 姜玉刚 陈德应 
国家自然科学基金(61405145;61235011);中国博士后科学基金(2014 M560104;2015T80115);天津市自然科学重点基金(15JCZDJC31900;13JCYBJC17300)
利用离子束溅射沉积制备了光学薄膜。基于椭圆偏振测量技术,研究了折射率、膜层厚度和表面层厚度与测试光斑大小的关系。研究结果表明,随着样品表面测试光斑尺寸的增加,薄膜折射率变小,膜层厚度、表面层厚度增加。使用反射光谱法和轮廓...
关键词：薄膜 光学常数 椭圆偏振法 光斑效应 
反射光谱拟合法确定聚合物半导体薄膜光学常数和厚度被引量：5
《激光与光电子学进展》2016年第4期247-252,共6页李国龙 钟景明 王立惠 李进 何力军 李海波 高忙忙 
宁夏大学自然科学研究基金(ZR1236)
光学常数（折射率和消光系数）是聚合物半导体薄膜器件结构设计和性能优化的重要参数。借助于ForouhiBloomer（F-B）色散模型,通过拟合P3HT：PCBM、MEH-PPV：PCBM体异质结薄膜以及聚合物导电薄膜PEDOT：PSS的反射率,计算得到其光学常数...
关键词：薄膜 光学常数 聚合物半导体薄膜 反射光谱 Forouhi-Bloomer色散模型 
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