压电陶瓷驱动器

作品数：163被引量：713H指数：12
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宏微复合平台的微运动动态模型研究被引量：5
《机械设计与制造》2017年第2期62-66,共5页高健 陈小国 张揽宇 周志强 
国家自然科学基金-广东省联合基金资助项目(U1134004);国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2011CB013104);广东省高等学校科技创新重点项目(2012CXZD0020)
宏微复合平台常应用于大行程运动和高精度定位的场合。基于对宏微复合驱动技术的的分析及研究,提出了一种音圈电机与压电陶瓷复合驱动的宏微复合运动平台结构,其中微运动平台采用压电陶瓷驱动和弹簧预紧,具有结构简单、分辨率高、刚度...
关键词：宏微复合平台 微运动平台 压电陶瓷驱动器 动态模型 
面向电子制造的高速精密宏微运动平台研究被引量：5
《组合机床与自动化加工技术》2015年第2期50-54,共5页黄特生 高健 周志强 张揽宇 陈小国 
国家自然科学基金(U1134004);国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2011CB013104);广东省高等学校科技创新重点项目(2012CXZD0020);广东省战略性新兴产业专项(2012A080303004)
在分析宏微复合驱动技术的基础上对高速高精度定位的宏微复合运动平台进行了研究,并研制了基于音圈电机驱动和压电陶瓷驱动的宏微复合运动平台。该平台的宏运动由音圈电机驱动,可实现高加速度和大行程运动;微运动由与音圈电机主轴相连...
关键词：宏微复合运动平台 音圈电机 压电陶瓷驱动器 电子制造 
AFM压电陶瓷驱动器类Hammerstein建模与参数辨识被引量：9
《传感技术学报》2015年第1期23-27,共5页徐运扬 徐康康 沈平 
国家重点基础研究发展计划基金项目(973)(2011CB013104)
AFM(Atomic Force Microscope,原子力显微镜)中的压电陶瓷驱动器具有率相关迟滞非线性特性,这会影响AFM的扫描和定位精度。针对传统静态迟滞模型不能反映系统率相关动态迟滞特性的缺陷,提出Hammerstein模型以描述压电陶瓷驱动器的静态...
关键词：压电陶瓷驱动器 非线性建模 HAMMERSTEIN模型 系统辨识 支持向量机 
用于高密度母盘刻录的二级定位方法被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2005年第2期163-165,169,共4页沈全洪 蒋培军 齐国生 徐端颐 李庆祥 
国家"九七三"重点基础研究项目(G19990330)
为了满足高密度母盘刻录的需要,对母盘刻录中的二级定位(two-stagepositioning)方法进行了研究,采用了直流电机驱动粗定位和压电陶瓷微型驱动精定位相结合的方式。使用双频激光干涉仪检测精定位工作台的位置,并引入比例增益K估计精定位...
关键词：母盘刻录 二级定位 压电陶瓷驱动器 PID 仿真 
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