压控电容器

作品数：2被引量：1H指数：1
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射频MEMS压控电容器被引量：1
《固体电子学研究与进展》2002年第2期146-148,共3页朱健 林立强 林金庭 
国家预研基金项目 (5 14 0 80 3 0 10 1DZ65 0 1) ;江苏省自然科学基金项目 (BK2 0 0 1192 );江苏高技术研究项目 (BG2 0 0 10 2 0 )支持
研究了射频 MEMS压控电容器的设计和制造工艺。压控电容器的制作采用了 MEMS制造技术 ,其主要结构为硅衬底上制作金属传输线电极和介质层 ,然后制作金属膜桥作为电容器的另一个电极。通过改变加在金属膜桥与传输线间的电压达到改变电容...
关键词：射频 微机电系统 传输线 压控电容器 制造 介质层 金属膜桥 
MSOS电容器的研制及其C－V特性分析
《中南民族学院学报（自然科学版）》1996年第1期7-11,共5页龚道本 
在ＭＯＳ电容器的基础上提出了一种新型的电容器，它是由金属－非晶态半导体－氧化物－半导体４层结构组成的电容器，简称为ＭＳＯＳ电容器，用Ｃ－Ｖ仪画出了它的Ｃ－Ｖ特性曲线；并用能带模型对此特性进行了分析，该电容器的特性是通...
关键词：MSOS电容器 耗尽层电容C C-V特性 压控电容器 
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