压力传感器设计

作品数：57被引量：151H指数：8
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：肖素艳胡智文熊继军王东红秦建勇更多>>
相关机构：中北大学合肥工业大学中国电子科技集团公司第四十九研究所南京航空航天大学更多>>
相关期刊：《计测技术》《山东科学》《传感技术学报》《哈尔滨商业大学学报（自然科学版）》更多>>
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高频响MEMS石墨烯压力传感器设计被引量：1
《仪表技术与传感器》2023年第1期12-16,共5页郑士瑜 侯文 王俊强 范宏斌 吴天金 李孟委 
“173”项目(2017JCJQZD00604)。
为了满足在恶劣环境下爆炸冲击波压力的测量需求,提出了一种结构为上层“膜+凸柱”与下层“十字梁”的高频响MEMS石墨烯压力传感器。使用ANSYS workbench软件对该结构进行分析,结果表明,其频响为1.34 MHz,在满量程60 MPa情况下,十字梁...
关键词：高频响 石墨烯 压阻效应 MEMS 压力传感器 
无引线封装的SOI压阻式压力传感器设计被引量：9
《仪表技术与传感器》2017年第12期20-24,共5页李俊龙 朱平 
在SOI晶圆材料的基础上,设计了压力敏感结构,提高了传感器的高温稳定性;采用敏感芯片背孔引线技术,将硅敏感芯片的正面和硼玻璃进行气密性阳极键合,通过在硼玻璃对应位置加工电极连接孔,实现芯片电极与外部管脚的电气连接,形成无引线封...
关键词：无引线封装 绝缘体上硅(SOI) 压阻式压力传感器 背孔引线 有限元分析(FEA) 耦合仿真 
基于无线通信的井下低功耗压力传感器设计被引量：4
《仪表技术与传感器》2016年第9期17-21,25,共6页潘长城 常青 王耀力 
山西省自然科学基金资助项目(2013011015-1)
针对有线矿压监测系统存在的缺陷,提出了一种低功耗矿井无线压力传感器设计方法与实现电路。该方法从低功耗的视角,对传感器节点的硬件电路、软件流程和系统时钟进行了优化设计研究,硬件电路以MSP430为核心,首先通过对各功能子模块配置...
关键词：矿压监测 传感器 低功耗 MSP430 无线通信 中断调度 扩散硅 
大量程SOI压阻式压力传感器设计被引量：6
《仪表技术与传感器》2015年第7期21-23,44,共4页张瑞 梁庭 刘雨涛 王心心 王涛龙 熊继军 
国家杰出青年科学基金资助项目(51425505);国家自然科学基金项目(51405454)
文中设计了一种浅凸台结构的SOI压阻式压力传感器。这种膜片结构解决了由于压力量程扩展导致传感器的灵敏度和线性度无法同时满足使用要求的问题。考虑电阻的设计约束以及浅凸台制作过程中的光刻和刻蚀偏差,采用U型电阻保持高灵敏度和...
关键词：SOI压阻式压力传感器 有限元分析(FEA) 浅凸台结构 
电子式汽车机油压力传感器设计被引量：5
《仪表技术与传感器》2004年第7期4-5,共2页申飞 李民强 孙怡宁 吴仲城 
机油压力是汽车发动机的重要参数之一。当机油压力过低时,可能损坏发动机,因此在汽车上需要安装油压表,以监测发动机运行过程中的机油压力。在介绍油压指示表的工作原理以及传统的机油压力传感器的基础上,提出了一种新型的电子式汽车机...
关键词：发动机 机油压力 传感器 
CAD技术在压力传感器设计中的应用被引量：1
《仪表技术与传感器》1999年第11期3-5,34,共4页张治国 傅唯大 匡石 王桂云 
国家"九五"科技攻关项目
文中介绍了ＣＡＤ 技术在压力传感器设计中的具体应用。针对压力传感器的各个设计环节，提出了具体的实现方法。所组成的设计系统利用国内外先进的ＣＡＤ 技术，综合考虑工作站的高性能和微机的易用性，使得组成的设计系统极为灵活，使...
关键词：硅压力传感器 有限元 CAD 传感器 
对称岛膜结构线性硅电容压力传感器设计
《仪表技术与传感器》1993年第4期1-3,共3页李昕欣 陈宏 鲍敏杭 
本文介绍了一种新型的方岛膜压力敏感电容结构,结合适当的接口技术可实现良好的线性化输出。
关键词：电容 压力传感器 岛膜结构 硅 
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