RIE

作品数：232被引量：392H指数：9
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相关作者：邹帅蔡文浩刘景全陈迪朱赤更多>>
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一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备被引量：2
《传感技术学报》2011年第6期839-842,共4页李鹏 张宇光 王丽 刘正 严英占 仝晓刚 薛晨阳 闫树斌 
国家973计划前期研究专项(2009CB326200);国家自然科学基金项目(50975266;60707014;60778029);重点实验室基金项目(9140c1204040909);总装创新项目(7130907);山西省自然科学基金项目(2010011003);山西省研究生优秀创新项目(20103083);山西省重点实验室开放项目(200911059-16)
根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层...
关键词：锥形光波导 耦合 ICP RIE 跑道型微腔 环型微腔 
采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层被引量：3
《传感技术学报》2006年第05A期1395-1397,1400,共4页顾盼 刘景全 陈迪 孙洪文 
上海市科委纳米专项资助(0352nm010)
摩擦和粘附问题已经成为影响微机电系统(MEMS)工艺性能和可靠性的主要因素.针对MEMS/NEMS中微构件表面改性问题,采用反应离子刻蚀(RIE)在硅片表面沉积氟化物薄膜,以达到降低硅片的表面能,减少其摩擦和粘附的目的.实验还将RIE沉积法制得...
关键词：反应离子刻蚀 表面能 微机电系统 防粘连膜 
基于α∶CH薄膜的微齿轮的制备被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1398-1400,共3页张继成 吴卫东 唐永建 
中国工程物理研究院重大基金项目资助(2005Z0805)
采用低压等离子体化学气相沉积技术在硅片上制备出α∶CH薄膜,以金属铝作为掩膜,利用电子回旋共振微波等离子体反应离子刻蚀法制备微齿轮,再用化学腐蚀的办法将所制备的齿轮从硅片上剥离下来,最后清洗干净后用毛细管把微齿轮组装到一个...
关键词：微齿轮 反应离子刻蚀(RIE) α:CH薄膜 
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