压阻检测

作品数：13被引量：31H指数：3
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：朱楠蒋庄德赵立波于明智韩香广更多>>
相关机构：中国科学院西安交通大学合肥工业大学中国科学院大学更多>>
相关期刊：《红外与毫米波学报》《电子技术应用》《测试技术学报》《压电与声光》更多>>
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微机械谐振器的快速测试方法被引量：1
《传感技术学报》2012年第2期198-201,共4页邢维巍 张晓灿 樊尚春 汤章阳 
国家自然科学基金项目(60927005;60804062)
为了缩短微机械谐振器的测量时间,提高测量效率。提出了一种针对压阻检测的微谐振器的频率特性测试新方法,该方法利用欧姆鉴相器,积分器和微处理器实现对微弱信号的有效检测。欧姆鉴相器以检测电阻为鉴相器,利用欧姆定律实现参考信号和...
关键词：微机械谐振器 压阻检测 微弱信号检测 互相关检测 信噪比 快速测量 
用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器被引量：9
《传感技术学报》2007年第10期2174-2177,共4页李鹏 李昕欣 王跃林 
973项目资助(2006CB300405)
文中演示了一种高分辨率的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器及其制作方法,并利用该传感器实现了对化学气体的检测.通过传感器在线检测以及其它表征手段,验证了该传感器通过单分子自组装方法获得敏感层的可行性.经过Cu2+/巯基十一酸单...
关键词：二氧化硅 微悬臂梁 压阻 传感器 
基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1705-1708,共4页赵全斌 焦继伟 杨恒 林梓鑫 李铁 张颖 王跃林 
973项目资助(2006CB00403)
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原...
关键词：双端固支硅纳米梁 压阻检测 Ar离子轰击 谐振特性 
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