压阻式压力传感器

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硅压阻式压力传感器引线键合工艺研究
《电子产品世界》2024年第8期16-19,共4页薄久旺 金琦 吕宏辉 于程程 李悦铭 
硅压阻式压力传感器具有高精度、高灵敏度、稳定性好等优点,广泛应用于航空、汽车、船舶等行业。在硅压阻式压力传感器的封装过程中,引线键合为关键过程,引线形态对传感器性能具有关键作用。根据引线键合机制,通过研究弧高(loop)、转折...
关键词：引线键合 引线形态 工艺参数 
一种压阻式压力传感器温度特性研究被引量：2
《计量与测试技术》2022年第6期37-40,共4页王在旗 纪金龙 吕艺晖 刘君健 
压阻式压力传感器的输出会明显受到温度变化的影响。本文研究了在温升和温降过程中,不同温度条件下传感器的零点漂移、输出误差,以及满量程范围的输出信号的变化,进一步提出了利用多项式-最小二乘法拟合试验数据进行温度补偿函数的探索...
关键词：压阻式压力传感器 温度特性 试验研究 
基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器被引量：11
《微纳电子技术》2021年第4期325-331,共7页单存良 梁庭 王文涛 雷程 薛胜方 刘瑞芳 李志强 
山西省重点研发计划项目(201903D121123);山西省自然科学基金项目(201801D121157,201801D221203)。
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感...
关键词：高温压力传感器 微电子机械系统(MEMS) 压阻效应 灵敏度 倒装封装 
一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法被引量：9
《中国测试》2021年第1期49-53,共5页田青林 陈红亮 陈洪敏 李粮 闫文吉 
针对压阻式压力传感器因热零点漂移、热灵敏度改变以及热迟滞效应引起的误差,提出一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法。该方法是在温升和温降全温区样本采集的数据基础上,采用最小二乘法曲面拟合原理对压阻式压力传感器进行数字补...
关键词：压阻式压力传感器 温度补偿 全温区 最小二乘法曲面拟合 热迟滞效应 
硅压阻式压力传感器的高精度补偿算法及其实现被引量：14
《自动化仪表》2018年第6期49-53,共5页聂绍忠 
重庆市重点产业共性关键技术创新专项重大研发基金资助项目(cstc2017zdcy-zdzxX0009)
硅压阻式压力传感器广泛应用于汽车、医疗、航空航天、环保等领域。随着科学技术的发展,各领域对压力测量精度的要求越来越高。但由于半导体材料的固有特性,硅压阻式压力传感器普遍存在零点随温度漂移、灵敏度随温度变化和非线性等问题...
关键词：硅压阻式压力传感器 零点漂移 灵敏度漂移 非线性 曲面拟合 补偿算法 
SOI高温压阻式压力传感器的设计与制备被引量：9
《微纳电子技术》2018年第6期408-414,共7页李鑫 梁庭 赵丹 雷程 杨娇燕 李志强 王文涛 熊继军 
国家杰出青年科学基金资助项目(51425505)
设计并制备了一种基于绝缘体上硅（SOI）材料、量程为5Pa～1．8MPa的压阻式压力传感器。在设计方面，通过有限元分析软件和经典理论相结合分析敏感膜片的力学性能和电学性能，得到敏感膜片的尺寸和表面电势的分布；在工艺方面，设计了...
关键词：绝缘体上硅(SOI) 压力传感器 压敏电阻 引线键合 有限元分析 
智能数字压力表结构原理介绍
《工业计量》2017年第S2期103-105,共3页范祎萌 
智能数字压力表由于显示直观、没有视觉误差和人员误差,使用携带方便,量程覆盖广,灵敏度高等优点被广泛应用。文章主要介绍了传感器最为广泛应用的压阻式压力传感器作为核心部件的智能数字压力表结构组成。
关键词：数字压力表 压力模块 压阻式压力传感器 
泥沙掩埋对压阻式压力传感器的影响及其对策研究被引量：4
《传感技术学报》2013年第8期1178-1182,共5页姜润翔 张晓兵 龚沈光 
国家重大安全基础研究项目(613166)
为了研究泥沙掩埋对压阻式压力传感器的影响,对传感器在不同泥沙、不同掩埋深度下的动态特性进行了测量,发现泥沙掩埋前后及不同泥沙和不同掩埋深度时,传感器输出动态特性有较大差异,对此解释了其产生的原因,并利用机电等效模型建立了...
关键词：压阻式 压力传感器 泥沙掩埋 粘度 柔度 
硅微压阻式压力传感器的测试与研究被引量：3
《山西电子技术》2013年第2期84-86,共3页余剑锋 谭晓兰 
设计了一种基于压阻式压力传感器的测试装置,该测试装置由压力容器、测试电路和温控系统三部分组成。利用该测试装置对实验室设计制作的压阻式压力微传感器压力输出特性进行了实验测试,并对测试结果进行了对比分析,结果表明该测试装置...
关键词：微压力传感器 测试装置 输出特性 可行的 
飞思卡尔推出面向汽车发动机控制系统和环保汽车应用的Xtrinsic压力传感器
《单片机与嵌入式系统应用》2013年第2期82-82,共1页
飞思卡尔半导体推出三款新的引脚对引脚兼容的压力传感器，替代MPXHZ6000系列，进一步扩展了其面向汽车发动机管理和高能效应用的Xtrinsic压力传感器组合。MPXHZ9000带绝对温度补偿的压阻式压力传感器提供与飞思卡尔其他集成压力传感器...
关键词：集成压力传感器 汽车应用 飞思卡尔 发动机控制系统 压阻式压力传感器 环保 引脚兼容 汽车发动机 
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