SEM

作品数：4585被引量：18262H指数：43
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基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建研究
《电子显微学报》2024年第6期711-723,共13页端方 张海刚 孙巍 朱建鹏 王贤浩 邱婷婷 王英 杨明来 
上海交通大学-平湖智能光电研究院开放项目(No.2022SPI0E203)。
由FIB与SEM结合而成的双束系统拥有高精度微纳加工能力的同时也具有超高空间分辨率成像功能。在微纳尺度下使用双目立体视觉进行三维重建对指导微纳材料加工等具有重要意义。本文提出了一种基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建方...
关键词：FIB-SEM双束系统 三维重建 双目立体视觉 数字图像处理 
镍基单晶高温合金孔洞区域蠕变行为原位SEM研究被引量：4
《电子显微学报》2022年第5期507-514,共8页何文玲 吕俊霞 程晓鹏 王晋 张跃飞 张泽 
国家科技重大专项(No.J2019-Ш-0008-0051);国家自然科学基金基础科学中心项目(No.51988101);北京市自然科学基金重点项目(No.KZ202110005006).
本文采用扫描电镜(SEM)原位高温蠕变实验研究方法,在780℃/720 MPa的蠕变条件下,对镍基单晶高温合金开展蠕变实验,实时观察了孔洞区域显微组织原位演化过程。实验结果表明:蠕变开始后孔洞处应力集中,变形集中于孔洞区域,孔洞旁产生45°...
关键词：镍基单晶高温合金 原位蠕变 颈缩 孔洞 裂纹 
基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品被引量：8
《电子显微学报》2021年第1期50-54,共5页王磊 曲迪 姬静远 白国人 
天津市支持京津冀科技成果转化项目(No.18YFCZZC00360);中新天津生态城2019年度科技型中小企业升级专项
针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更...
关键词：聚焦离子束扫描电镜双束系统 微米颗粒 球差校正透射电镜样品 
原子层沉积Al_2O_3纳米管弯曲模量的原位研究被引量：2
《电子显微学报》2018年第1期1-7,共7页孙成东秀 马晋遥 杨丽珍 陈强 张跃飞 
国家自然科学基金资助项目(No.11374027)
本文使用原子层沉积技术以及模板法制备了厚度、成分和结构精确可控的氧化铝纳米管,结合SEM、TEM、SAED和XPS分析,可知所得为非晶态氧化铝纳米管状结构且薄膜致密无针孔,沉积速率为0.11 nm/cycle,实现了纳米管壁厚在纳米尺度精确可控制...
关键词：氧化铝纳米管 原子层沉积 SEM/SPM联合测试系统 杨氏模量 三点弯曲 
并蒂芙蓉
《电子显微学报》2017年第6期529-529,共1页吴笑 王艳玲 
本幅作品将原SEM图经过调色处理使其呈现出不同的浓淡层次,模拟出芙蓉花的形态颜色.细细看去,仿佛一幅国画小品.仔细观察,两支芙蓉花并蒂生长,相依相偎.在古人眼中,并蒂花是及其美好的存在,常用来比喻夫妻相亲相爱.芙蓉花香引来两只蝴...
关键词：芙蓉花 宏观世界 微观世界 SEM 小颗粒 样品台 生长 花香 
基于SEM-SPM原位纳米压痕超薄铜薄膜弹性模量研究被引量：1
《电子显微学报》2017年第5期442-450,共9页赵波慧 刘燕萍 马晋遥 王晋 吕俊霞 张跃飞 
国家自然科学基金资助项目(No.11374027)
本文利用自主研发的扫描电子显微镜-扫描探针显微镜联合测试系统(SEM-SPM),研究了直流磁控溅射(DCMS)和原子层沉积(ALD)两种成膜方式对40、60和80 nm超薄铜薄膜弹性模量的影响。基于赫兹理论和King模型的计算结果表明,利用DCMS得到不同...
关键词：原位纳米压痕 超薄薄膜 弹性模量 赫兹理论 铜薄膜 
聚焦离子束制备透射电子显微镜样品的两种厚度判断方法被引量：8
《电子显微学报》2017年第1期18-23,共6页时金安 张庆华 谷林 
国家重点基础研究发展计划(No.2014CB921002);中国科学院战略先导B(No.XDB07030200);国家自然科学基金资助项目(No.51522212;No.51421002)
透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的...
关键词：聚焦离子束 透射电子显微镜样品 厚度 SEM衬度 
基于FIB-SEM双束系统的纳尺度真空间隙电学特性原位实验装置
《电子显微学报》2016年第6期526-532,共7页孟国栋 董承业 门闯 成永红 
国家自然科学基金资助项目(No.51607138);强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项经费(No.SKLIPR.1512)
纳米尺度真空电气击穿与绝缘特性研究是高电压与绝缘技术领域的前沿课题。一方面,随着微纳尺度加工技术的不断发展,电气部件和电子器件的特征物理尺寸已经逐步降低到微米、纳米甚至是分子原子尺度,并且在军事和民用领域得到越来越广泛...
关键词：FIB-SEM双束系统 纳尺度真空间隙 电气击穿 原位研究 
FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍被引量：23
《电子显微学报》2016年第1期81-89,共9页付琴琴 单智伟 
国家自然科学基金资助项目(No.51231005)
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展...
关键词：FIB-SEM双束系统 TEM样品制备 微纳尺度力学测试样品制备 三维成像及分析 
Ni-Al二元镍基模型高温合金热暴露实验过程中γ＇相尺寸与体积分数的变化被引量：6
《电子显微学报》2015年第4期298-303,共6页刘程鹏 张晓娜 葛麟 李宪 王崇愚 于涛 张泽 
国家自然科学基金重大仪器项目(No.11327901);国家重点基础研究发展规划项目(No.2011CB606402)
本文利用扫描电子显微镜(SEM),研究了Ni-Al二元模型镍基单晶高温合金在热暴露实验过程中γ'相尺寸与体积分数的变化。结果表明:随着热暴露时间的增加,一次γ'相尺寸明显增大,其长大机制为扩散控制的粗化机制(L-S-W理论)。其平均尺寸的...
关键词：镍基单晶高温合金 SEM γ'相尺寸 γ'相体积分数 
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