SU-8胶

作品数：54被引量：207H指数：8
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相关作者：朱军刘景全杜立群陈迪明平美更多>>
相关机构：大连理工大学上海交通大学南京航空航天大学东南大学更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《微细加工技术》更多>>
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UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用被引量：6
《光学精密工程》2013年第5期1228-1233,共6页马雅丽 刘文开 刘冲 杜立群 
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13)
研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构;然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道。对SU-8厚胶工艺...
关键词：细胞培养器 UV-LIGA技术 SU-8胶 微注塑模具型腔 微结构 
基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法被引量：4
《机械工程学报》2011年第3期179-185,共7页刘冲 李苗苗 施维枝 杜立群 王立鼎 
国家科技支撑研究发展计划(863计划;2006BAF04B13);国家重点基础研究发展计划(973计划;2007CB714502);国家自然科学基金(20890024;50575036)资助项目
以SU-8胶为微电铸母模制作镍模具时,胶模的热溶胀性使胶模变形,导致铸层线宽缩小,这是影响微电铸铸层尺寸精度的主要因素。针对密集蛇形沟道图形的镍模具微电铸工艺,以200.0μm厚SU-8胶为胶模,研究微电铸铸层尺寸精度的控制方法,提出基...
关键词：微电铸 SU-8胶 热溶胀性 隔离带 尺寸精度 
模糊神经网络在SU-8胶内应力研究中的应用被引量：1
《纳米技术与精密工程》2007年第4期323-326,共4页朱神渺 杜立群 刘冲 喻立川 王治宏 
国家科技支撑计划项目(2006BAF04B13);国家自然科学基金资助项目(50675025)
以薄膜内应力为指标,对SU-8负性光刻胶的工艺参数进行了优化.根据基片曲率法的原理,通过三因素三水平的正交实验,测量了9组不同工艺条件下SU-8胶层内应力的大小.引入模糊神经网络,对影响SU-8胶内应力的工艺参数进行了优化仿真研究.以正...
关键词：SU-8胶 内应力 正交实验 BP神经网络 
SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究被引量：6
《光学精密工程》2007年第4期447-452,共6页杜立群 秦江 刘冲 朱神渺 李园园 
国家科技支撑计划项目(No.2006BAF04B13);国家自然科学基金项目(No.50675025)
研究了衍射效应对SU-8胶紫外光刻尺寸精度的影响。根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型,预测微结构的尺寸,分析了光刻参数变化对尺寸的影响。为了更好地与数值模拟结果进行比较,以硅为基底,进行了SU-8胶紫外光刻的实验研究。实验...
关键词：SU-8胶 菲涅耳衍射 紫外光刻 尺寸精度 MATLAB 
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